Tabellenverzeichnis

1 Einführung in die Vakuumtechnik

Tabelle 1.1
Totaldruck und Zusammensetzung der Luft bei 20 °C und 50 % Luftfeuchtigkeit
Tabelle 1.2
Druckbereiche in der Vakuumtechnik
Tabelle 1.3
Umrechnungstabelle für Druckeinheiten
Tabelle 1.4
Molare Massen und mittlere thermische Geschwindigkeiten verschiedener Gase
Tabelle 1.5
Mittlere freie Weglänge ausgewählter Gase bei 273,15K
Tabelle 1.6
Mittlere freie Weglänge eines Stickstoffmoleküls bei 273,15 K (0 °C)
Tabelle 1.7
Übersicht Strömungsarten
Tabelle 1.8
Umrechnungstabelle Saugleistung

2 Auslegung

Tabelle 2.1
Saugvermögen eines Wälzkolbenpumpstands und Auspumpzeit

3 Mechanische Komponenten im Vakuum

Tabelle 3.1
Chemische Zusammensetzung (Masseanteil) von Edelstählen gemäß der europäischen Werkstoffbezeichnung nach EN 10088 Teil 1
Tabelle 3.2
Chemische Zusammensetzung (Masseanteil) von Edelstählen gemäß der Werkstoffbezeichnung nach AISI (American Iron and Steel Institute)
Tabelle 3.3
Eigenschaften von Edelstählen
Tabelle 3.4
Eigenschaften von Elastomerwerkstoffen
Tabelle 3.5
Vergleich von Dichtungsmaterialien
Tabelle 3.6
Mechanische Kennwerte und Werkstoffe von Schrauben bei Raumtemperatur
Tabelle 3.7
Reibungskoeffizienten für Edelstahl und verzinkte Stahlschrauben
Tabelle 3.8
Temperaturabhängigkeit der 0,2%-Dehngrenze für Edelstahl- und Stahlschrauben mit Durchmessern ≤ M24
Tabelle 3.9
Maximales Anziehdrehmoment und maximal resultierende Vorspannkraft für Edelstahlschrauben
Tabelle 3.10
Maximales Anziehdrehmoment und maximal resultierende Vorspannkraft für Stahlstahlschrauben der Festigkeitsklasse 8.8

4 Vakuumerzeugung

Tabelle 4.1
Kenndaten HenaLine (alle Angaben für Betrieb an 50 Hz)
Tabelle 4.2
Kenndaten UnoLine Plus (alle Angaben für Betrieb an 50 Hz)
Tabelle 4.4
Kenndaten DuoLine
Tabelle 4.5
Kenndaten Duo M-Reihe
Tabelle 4.6
Kenndaten Duo MC-Reihe
Tabelle 4.7
Kenndaten Pascal SD-Reihe
Tabelle 4.8
Kenndaten Pascal I-Reihe
Tabelle 4.9
Kenndaten Pascal C1-Reihe
Tabelle 4.10
Kenndaten Pascal C2-Reihe
Tabelle 4.11
Ölsorten für Vorpumpen und Wälzkolbenpumpen
Tabelle 4.12
Kenndaten von Membranpumpen
Tabelle 4.13
Kenndaten HeptaDry
Tabelle 4.14
Mögliche Konfigurationen von luftgekühlten mehrstufigen Wälzkolbenpumpen
Tabelle 4.15
Mögliche Konfigurationen von luftgekühlten mehrstufigen Wälzkolbenpumpen
Tabelle 4.16
Kenndaten von wassergekühlten mehrstufigen Wälzkolbenpumpen für nicht-korrosive Anwendungen
Tabelle 4.17
Kenndaten von wassergekühlten mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der P-Serie für korrosive Anwendungen
Tabelle 4.18
Kenndaten von wassergekühlten mehrstufigen Wälzkolbenpumpen der H-Serie für harte korrosive Anwendungen
Tabelle 4.19
Kenndaten OktaLine
Tabelle 4.20
Kenndaten OnTool Booster
Tabelle 4.21
Ausgewählte Kenndaten HiPace® für Stickstoff
Tabelle 4.22
Kenndaten magnetgelagerter Turbopumpen für Stickstoff

5 Vakuummessgeräte

Tabelle 5.1
Aktive und passive Messröhren
Tabelle 5.2
Auswahlhilfe Vakuummeter

6 Massenspektrometer und Restgasanalyse

Tabelle 6.1
Filamentmaterialien und deren Anwendungen
Tabelle 6.2
Detektoren und deren Eigenschaften
Tabelle 6.3
Verschiedene Gaseinlasssysteme und deren Eigenschaften

7 Lecksuche

Tabelle 7.1
Lokale Lecksuche mit Schnüffel- und Vakuumverfahren
Tabelle 7.2
Integrale Lecksuche mit Schnüffel- und Vakuumverfahren
Tabelle 7.3
Vergleich von Lecksuchgerät und Quadrupol-Massenspektrometer
Tabelle 7.4
Pfeiffer Vacuum Lecksuchgeräte