4.2.3.2 Zweistufige Drehschiebervakuumpumpen
Zweistufige Drehschieberpumpen sind für Anwendungen im Grob- und Feinvakuumbereich bis zu einem Druck von 10-3 hPa geeignet. Eine eingebaute Gasballasteinrichtung erlaubt das Abpumpen von kondensierbaren Dämpfen.
DuoLine
Die Drehschiebervakuumpumpen der DuoLine werden je nach Größe mit Wechsel- oder Drehstrommotoren angetrieben. Neben den Standardtypen stehen folgende Baureihen zur Verfügung: Pumpen mit Magnetkupplung (Duo M-Reihe) sowie Korrosivgaspumpen mit und ohne Magnetkupplung (Duo MC-Reihe).
Duo M-Reihe
Pumpen der M-Reihe sind mit einer Magnetkupplung mit Spaltrohr ausgestattet. Durch dieses verschleißfreie Dichtungskonzept sind die Pumpen hermetisch dicht und damit sauber und umweltverträglich. Der Einsatz der Magnetkupplung minimiert die Wartung und führt dadurch zu erheblichen Kosteneinsparungen.
| DuoLine | |||
|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen | Enddruck | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| Duo 1,6 | 1,25 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | Turbopumpstände, Analytik, Forschung & Entwicklung, Beschichtung |
| Duo 3 | 2,5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 6 | 5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 11 | 9 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 35 | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 | 62 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 125 | 115 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 255 | 250 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
Tabelle 4.4: Kenndaten DuoLine
| Duo M-Reihe | |||
|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen | Enddruck | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| Duo 1,6 M | 1,25 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | Turbopumpstände, Analytik, Forschung & Entwicklung, Beschichtung, nicht explosive, toxische Gase |
| Duo 3 M | 2,5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 6 M | 5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 11 M | 9 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 35 M | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 M | 62 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 125 M | 115 m³ · h-1 | 2 . 10-3 hPa | |
| Duo 255 M | 250 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
Tabelle 4.5: Kenndaten Duo M-Reihe
Duo MC-Reihe
Pumpen der MC-Reihe sind für Korrosivgasanwendungen geeignet. Sie unterscheiden sich von den Standardpumpen durch ein spezielles Gasballastventil, durch das Inertgas in die Pumpe eingelassen werden kann. Daneben sind die Pumpen mit Spezialschiebern ausgestattet, die besonders resistent gegen Chemikalien sind. Alle Korrosivgaspumpen der MC-Reihe sind für den Betrieb mit den chemieresistenten Betriebsmitteln F4 bzw. F5 (Perfluorpolyether) vorbereitet. Die Duo MC-Pumpen sind besonders zum Pumpen toxischer Gase geeignet, da durch die hermetisch dichte Magnetkupplung kein Gas nach außen dringen kann.
Pascal
Die Drehschiebervakuumpumpen der Baugruppe Pascal werden in der Saugvermögensklasse von 5 bis 21 m3 · h-1 alternativ mit Wechsel- oder Drehstrommotoren angetrieben. Einlass- und Auslassflansch können vertikal oder horizontal für bestmögliche Integration oder Anbringung von Zubehör montiert werden. Neben der Standardreihe stehen die I-Reihe mit Zwangsschmierung und zwei unterschiedliche Korrosivgasreihen zur Auswahl.
SD-Reihe
Die Drehschiebervakuumpumpen der SD-Reihe sind für nicht-korrosive Gase ausgelegt. Ihre Bedarfsschmierung (Saugvermögensklasse bis 21 m3 · h-1) sorgt für minimalen Ölauswurf am Auspuff. Durch niedrige Pumpentemperatur wird die Ölrückströmung bei Langzeitbetrieb am Enddruck minimiert.
Wie bei allen anderen Pumpen der Saugvermögenklasse bis 21 m³ · h-1 ist die Wellendichtung der Pumpen ohne Zerlegen des Pumpenblocks zugänglich und ermöglicht so eine leichte Wartung im Feld.
I-Reihe
Die Pumpen der I-Reihe sind mit einer Zwangsschmierung ausgerüstet. Damit erzielen sie eine verbesserte Wasserdampfverträglichkeit im Vergleich zur SD-Serie. Durch die Zwangsschmierung erreichen die Pumpen der I-Serie ein sehr geringes Geräuschniveau und niedrige Vibrationen.
C1-Reihe
Die zwangsgeschmierten Pumpen der C1-Serie sind durch FPM-Dichtungen und chromoxidbeschichtete Wellen sowie spezielle Materialien für Gehäuse, Schieber, Wellenhülsen und Schaugläser besonders für Korrosivgasanwendungen geeignet. Die beiden größten Modelle der Serie verfügen zusätzlich über integrierte Ölfilter und eine Ölkastenspülung.
Die C1-Serie wird werksseitig für den Einsatz mit Mineralölen vorbereitet.
| Duo MC-Reihe | |||
|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen | Enddruck | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| Duo 20 MC | 20 m³ · h-1 | 5 · 10-3 hPa | Korrrosivgasanwendungen, Chemielabor, toxische, nichtexplosive Gase |
| Duo 35 MC | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 MC | 62 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
Tabelle 4.6: Kenndaten Duo MC-Reihe
| Pascal SD-Reihe | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen 50 Hz | Saugvermögen 60 Hz | Enddruck | Enddruck mit Gasballast | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| 2005 SD | 5 m³/h | 6 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | Industrie, Analytik, Forschung & Entwicklung, Lecksuche |
| 2010 SD | 9 m³/h | 10,5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2015 SD | 14 m³/h | 16,5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2021 SD | 18 m³/h | 22 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
Tabelle 4.7: Kenndaten Pascal SD-Reihe
| Pascal I-Reihe | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen 50 Hz | Saugvermögen 60 Hz | Enddruck | Enddruck mit Gasballast | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| 2005 I | 5 m³/h | 6 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | Analytik, Forschung & Entwicklung, Trocknung, Destillation |
| 2010 I | 9 m³/h | 10,5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2015 I | 14 m³/h | 16,5 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
| 2021 I | 18 m³/h | 22 m³/h | 5 · 10-4 hPa | 1 · 10-2 hPa | |
Tabelle 4.8: Kenndaten Pascal I-Reihe
C2-Reihe
Die Pumpen der C2-Serie sind ebenfalls zwangsgeschmiert. Ihre Korrosivgasausrüstung übertrifft diejenige der C1-Serie durch Lagerbeschichtung, eine Neutralgasspülung zur Entgasung des Betriebsmittels sowie spezielle Schiebermaterialien. Die beiden größten Modelle der Serie sind zusätzlich mit Anschlüssen für Öldruck- und Öltemperatursensoren ausgestattet. Mit dieser Korrosivgasausrüstung sind die Pascal C2-Pumpen in besonderem Maße für den Einsatz in Ätz- und Beschichtungsprozessen der Halbleitertechnologie geeignet.
Die C2-Serie wird werksseitig für den Einsatz mit perfluorierten Betriebsmitteln vorbereitet.
| Pascal C1-Reihe | |||
|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen | Enddruck | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| 2005 C1 | 5 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | Korrrosivgasanwendungen, Chemielabors, Schleusen und Transferkammern mit Chemikalienbelastung, Sterilisation |
| 2010 C1 | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2015 C1 | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2021 C1 | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2033 C1 | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| 2063 C1 | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
Tabelle 4.9: Kenndaten Pascal C1-Reihe
| Pascal C2-Reihe | |||
|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen | Enddruck | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| 2010 C2 | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | Beschichtung, Halbleiter (CVD, Plasmaätzen, Implantation), Pumpen von reinem Sauerstoff |
| 2015 C2 | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2021 C2 | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2033 C2 | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| 2063 C2 | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
Tabelle 4.10: Kenndaten Pascal C2-Reihe
| Ölsorte | Beschreibung | Erreichbarer Enddruck | Anwendungen und Eigenschaften | HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, OktaLine | Pascal |
|---|---|---|---|---|---|
| P3 | Mineralöl für Standardanwendungen Extrem niedriger Dampfdruck | < 1 · 10-3 hPa | Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase | ||
| A120 | Mehrzweck-Mineralöl ohne Additive, Universalöl für 50 Hz | < 3 · 10-3 hPa | Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase; hohe Viskosität | ||
| D1 | Diesteröl für Standard- und Sonderapplikationen | < 5 · 10-2 hPa | Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase, Sauerstoff, schwach aggressive und organische Lösungsmittel | ||
| A155 | Synthetiköl auf organischer Esterbasis | < 3 · 10-3 hPa | Kohlenwasserstoffhaltige Dämpfe, NH3, R134a, Kältemittel; oxidationsbeständig, beständig gegen Polymerisation (geringe Ablagerung) | ||
| F4 | Perfluorpolyether für Sonderapplikationen | < 1 · 10-3 hPa | Sauerstoff, Ozon, Halogene, organische und anorganische Lösungsmittel, HCl, BF3, HF | für Pumpen < 20 m³ h-1 | |
| F5 | für Pumpen > 20 m³ h-1 | ||||
| A113 | Perfluorpolyether-Synthetiköl | < 5 · 10-3 hPa | Sauerstoff, Ozon, Halogene, organische und anorganische Lösungsmittel; hochbeständig gegen korrosive Gase, geeignet für Plasmaätzen | ||
| A119 | Mehrzweck-Mineralöl ohne Additive, Universalöl für 60 Hz | < 3 · 10-3 hPa | Luft, nicht-korrosive Gase, Edelgase; niedrige Viskosität, dadurch gute Anlaufeigenschaften bei niedrigen Temperaturen | ||
| A121 | Zweifach destilliertes mineralisches Synthetiköl mit Antioxidansadditiv | < 3 · 10-3 hPa | Zyklisches Pumpen auf Atmosphärendruck, für hohe Temperaturen und Drücke, beständig gegen saure und organische Dämpfe; nicht für Plasmaätzen geeignet | ||
| A102 | Mineralöl mit Antiemulgieradditiv | < 3 · 10-2 hPa | Trennung Wasser/Öl (antiemulgierend), Trocknung und Pumpen von Wasserdampf, Gefriertrocknung | ||
| A111 | Temperaturstabiles, mineralisches Synthetiköl | < 1 · 10-2 hPa | Gasumlauf und Rückführung; oxidationsempfindlich (für häufige Zyklen auf Atmosphärendruck nicht geeignet) | ||
| A200 | Zweifach destilliertes Mineralöl ohne Additive | < 2 · 10-3 hPa | Beständig gegen korrosive Gase und gegen ionisierendes Plasma; geringe Rückströmung | ||
| A300 | Mineralisches zweifach destilliertes Weißöl ohne Additive | < 5 · 10-3 hPa | Hochbeständig gegen korrosive Gase und gegen ionisierendes Plasma, beständig gegen Halogene und Lewis-Säuren; geringe Rückströmung |
Tabelle 4.11: Ölsorten für Vorpumpen und Wälzkolbenpumpen
