1.2.7 pV-Durchfluss
Dividiert man die allgemeine Gasgleichung (Formel 1-6) durch die Zeit t, so erhält man den Gasstrom
\[q_{pV}=\frac{p\cdot V}t = \frac{m\cdot R\cdot T}{M\cdot t}\]
Formel 1-15: pV-Durchfluss
| $q_{pV}$ | pV-Durchfluss | [Pa m3 s-1] |
Man sieht aus der rechten Seite der Gleichung, dass bei gleicher Temperatur T ein konstanter Massenstrom gefördert wird. Dieser Gasstrom wird auch pV-Durchfluss oder Gasdurchsatz genannt. Bezogen auf eine Vakuumpumpe wird der geförderte Strom als Saugleistung bezeichnet.
\[q_{pV} = S\cdot p = \frac{dV}{dt}\cdot p\]
Formel 1-16: Saugleistung einer Vakuumpumpe
Dividiert man die Saugleistung durch den Eingangsdruck, so erhält man einen Volumenstrom, das Saugvermögen einer Vakuumpumpe:
\[S = \frac{dV}{dt}\]
Formel 1-17: Saugvermögen einer Vakuumpumpe
In Tabelle 1.8 ist eine Umrechnungstafel für verschiedene Einheiten der Saugleistung angegeben.
| Pa m3 / s = W | mbar l / s | Torr l / s | atm cm3 / s | lusec | sccm | slm | Mol / s | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Pa m3 / s | 1 | 10 | 7,5 | 9,87 | 7,5·103 | 592 | 0,592 | 4,41·10-4 |
| mbar l / s | 0,1 | 1 | 0,75 | 0,987 | 750 | 59,2 | 5,92·10-2 | 4,41·10-5 |
| Torr l / s | 0,133 | 1,33 | 1 | 1,32 | 1.000 | 78,9 | 7,89·10-2 | 5,85·10-5 |
| atm cm3 / s | 0,101 | 1,01 | 0,76 | 1 | 760 | 59,8 | 5,98·10-2 | 4,45·10-5 |
| lusec | 1,33·10-4 | 1,33·10-3 | 10-3 | 1,32·10-3 | 1 | 7,89·10-2 | 7,89·10-5 | 5,86·10-8 |
| sccm | 1,69·10-3 | 1,69·10-2 | 1,27·10-2 | 1,67·10-2 | 12,7 | 1 | 10-3 | 7,45·10-7 |
| slm | 1,69 | 16,9 | 12,7 | 16,7 | 1,27·104 | 1.000 | 1 | 7,45·10-4 |
| Mol / s | 2,27·103 | 2,27·104 | 1,7·104 | 2,24·104 | 1,7·107 | 1,34·106 | 1,34·103 | 1 |
Tabelle 1.8: Umrechnungstabelle Saugleistung
