4.3.2 Anwendungshinweise
Aufgrund ihres kohlenwasserstofffreien Schöpfraums sind Membranpumpen besonders gut als trockene Vorpumpen für Turbomolekularpumpen mit Holweckstufe geeignet. Schon zweistufige Membranpumpen, die etwa 5 hPa Enddruck erreichen, kann man als Vorpumpen für Holweckturbopumpen verwenden. Das saubere Vakuum wird besonders bei Analytik- und F&E-Anwendungen geschätzt. Auch Membranpumpen fördern ohne Gasballast keinen Wasserdampf. Selbst die geringen Mengen von Wasserdampf, die von den Wänden einer Hochvakuumapparatur desorbieren, können den Enddruck einer Membranpumpe drastisch ansteigen lassen. Einige Membranpumpen sind jedoch nach einem patentierten Verfahren mit einem Gasballastventil ausgerüstet. Dazu lässt man bei zweistufigen Membranpumpen Gas in den Verbindungskanal zwischen erster und zweiter Stufe ein und verbindet diesen über eine kleine Bohrung mit dem Schöpfraum der ersten Stufe.
| Membranpumpen | |||
|---|---|---|---|
| Typenbezeichnung | Saugvermögen | Enddruck | Einsatzbereiche / Anwendungsgebiete |
| MVP 003-2 | 0,25 m³ · h-1 | ≤ 7,0 hPa | Kleine Turbopumpstände (ideal mit HiPace 10 und HiPace 80), mobile Analysegeräte, Regenerierung Helium-Lecksucher MiniTest |
| MVP 006-4 | 0,25 m³ · h-1 | ≤ 2,0 hPa | Kleine Turbopumpstände (ideal mit HiPace 10 und HiPace 80), mobile Analysegeräte |
| MVP 015-2 | 0,5 m³ · h-1 | ≤ 3,5 hPa | Turbopumpstände, Lecksucher, Forschungslabors, Analytik, Chemie |
| MVP 015-4 | 0,5 m³ · h-1 | ≤ 0,5 hPa | |
| MVP 030-3 | 1,8 m³ · h-1 | ≤ 2,5 hPa | |
| MVP 040-2 | 2,3 m³ · h-1 | ≤ 4,0 hPa | |
| MVP 070-3 | 3,8 m³ · h-1 | ≤ 1,0 hPa | |
| MVP 070-3 C | 3,4 m³ · h-1 | ≤ 1,5 hPa | Korrosivgasanwendungen, bei denen ein kohlenwasserstofffreies Vakuum benötigt wird |
Tabelle 4.12: Kenndaten von Membranpumpen
Fallen größere Mengen an Feuchtigkeit an und benutzt man Membranpumpen ohne Gasballast, müssen geeignete Abscheider bzw. Kühlfallen vorgeschaltet werden, um eine stärkere Kondensatbildung in der Pumpe zu verhindern. Trotzdem wird sich der Enddruck erhöhen.
