3.5 Komponenten und Durchführungen

Eine Vakuumanlage verfügt über eine Vielzahl an Einzelbauteilen, die zu einer Einheit zusammengefügt werden müssen. Mit lösbaren, vakuumdichten Flanschverbindungen lassen sich die Bauteile direkt oder über Vakuumkomponenten, wie Rohrbauteile oder Schläuche verbinden. Dafür steht eine Vielzahl von Standardbauteilen zur Verfügung, hauptsächlich aus Edelstahl, zum Teil auch aus Aluminium. Vakuumverteiler können aus Rohrbauteilen wie Bögen, T-Stücken oder Kreuzstücken aufgebaut werden, Adapter bieten Übergänge von Vakuumflanschen auf Gewinde oder VCR-Verbindungen, Reduzierstücke oder Übergangsstücke machen einen Wechsel unter den Nennweiten oder unter den Flanschsystemen möglich.

Ist der Montageraum begrenzt, sollen möglichst wenige Flanschverbindungen verbaut werden; sind die benötigten Übergänge und Anschlüsse nicht mit Standardkomponenten realisierbar, kommen kundenspezifische Komponenten zum Einsatz. Diese beginnen bei Zwischenstücken in Sonderlängen und enden bei hochkomplexen, individuellen Sonderlösungen.