7.2 Lecksuche mit Prüfgasen

Zum Nachweis von Prüfgasen setzt Pfeiffer Vacuum Lecksuchgeräte auf der Basis von Massenspektrometern und Quarzfenstersensoren ein. Massenspektrometer ionisieren ein Gasgemisch und isolieren das gewünschte Prüfgas durch das Masse-zu-Ladungs-Verhältnis. Quarzfenstersensoren basieren auf der selektiven Permeation leichter Gase durch eine Quarzmembran.