Formelverzeichnis
1 Einführung in die Vakuumtechnik
- Formel 1-1
- Barometrische Höhenformel
- Formel 1-2
- Barometrische Höhenformel, numerisch
- Formel 1-3
- Druckdefinition
- Formel 1-4
- Boyle-Mariotte’sches Gesetz
- Formel 1-5
- Gay-Lussac’sches Gesetz
- Formel 1-6
- Allgemeine Zustandsgleichung für ideale Gase
- Formel 1-7
- Zustandsgleichung für ideale Gase I
- Formel 1-8
- Zustandsgleichung für ideale Gase II
- Formel 1-9
- Wahrscheinlichste Geschwindigkeit
- Formel 1-10
- Mittlere Geschwindigkeit
- Formel 1-11
- Mittlere freie Weglänge
- Formel 1-12
- Mittlere freie Weglänge II
- Formel 1-13
- Knudsenzahl
- Formel 1-14
- Reynolds-Zahl
- Formel 1-15
- pV-Durchfluss
- Formel 1-16
- Saugleistung einer Vakuumpumpe
- Formel 1-17
- Saugvermögen einer Vakuumpumpe
- Formel 1-18
- Definition Leitwert
- Formel 1-19
- Ohm’sches Gesetz
- Formel 1-20
- Parallelschaltung Leitwerte
- Formel 1-21
- Reihenschaltung Leitwerte
- Formel 1-22
- Verblockung einer Blende
- Formel 1-23
- Blendendurchfluss
- Formel 1-24
- Blendenleitwert
- Formel 1-25
- Blendenleitwert für Luft
- Formel 1-26
- Leitwert Rohr laminar
- Formel 1-27
- Leitwert Rohr laminar für Luft
- Formel 1-28
- Rohr molekular
- Formel 1-29
- Durchtrittswahrscheinlichkeit für lange runde Rohre
- Formel 1-30
- Leitwert Rohr molekular
- Formel 1-31
- Leitwert Rohr molekular
- Formel 1-32
- Desorptionsstrom
- Formel 1-33
- Desorptionsstrom aus Kunststoffen
- Formel 1-34
- Permeation
- Formel 1-35
- Leckrate
- Formel 1-36
- Enddruck als Funktion der Zeit
2 Auslegung
- Formel 2-1
- Gaslast Wälzkolbenpumpe
- Formel 2-2
- Kompressionsverhältnis Wälzkolbenpumpe
- Formel 2-3
- Kompressionsverhältnis Wälzkolbenpumpe laminar
- Formel 2-4
- Kompressionsverhältnis Wälzkolbenpumpe molekular
- Formel 2-5
- Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei geöffnetem Überströmventil und hohem Vorvakuumdruck
- Formel 2-6
- Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei geöffnetem Überströmventil und hohem Vorvakuumdruck
- Formel 2-7
- Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei hohem Ansaugdruck
- Formel 2-8
- Saugvermögen Wälzkolbenpumpstand bei niedrigem Ansaugdruck
- Formel 2-9
- Auspumpzeit
- Formel 2-10
- Saugvermögensberechnung
- Formel 2-11
- Gasdurchsatz für das Abpumpen von Dämpfen
- Formel 2-12
- Berechnung Kondensationsfläche
- Formel 2-13
- Basisdruck eines Vakuumsystems
- Formel 2-14
- Diffusionskoeffizient (T)
4 Vakuumerzeugung
- Formel 4-1
- Kompressionsverhältnis
- Formel 4-2
- Gasstrom Pumpkombination
- Formel 4-3
- Rückströmleitwert
- Formel 4-4
- Reales Kompressionsverhältnis
- Formel 4-5
- Rekursionsformel Saugvermögen
- Formel 4-6
- Wasserdampfverträglichkeit
- Formel 4-7
- Wasserdampfkapazität
- Formel 4-8
- Kompressionsverhältnis Turbopumpe
- Formel 4-9
- Saugvermögen Turbopumpe
- Formel 4-10
- Effektives Saugvermögen Turbopumpe
- Formel 4-11
- Spezifisches Saugvermögen
- Formel 4-12
- Saugvermögen Holweckstufe
- Formel 4-13
- Kompressionsverhältnis Holweckstufe
- Formel 4-14
- Enddruck
6 Massenspektrometer und Restgasanalyse
- Formel 6-1
- kinetische Energie
- Formel 6-2
- Lorentzkraft
- Formel 6-3
- Kräftegleichheit
- Formel 6-4
- Bahnradius
- Formel 6-5
- Quadrupol-Ablenkspannung
- Formel 6-6
- Stabilitätsparameter a
- Formel 6-7
- Stabilitätsparameter q
- Formel 6-8
- Stabilitätsbedingung für U
- Formel 6-9
- Stabilitätsbedingung für V
- Formel 6-10
- Hochpassbedingung
- Formel 6-11
- HF-Leistung
- Formel 6-12
- Streuung
- Formel 6-13
- Ionenstrom
8 Lösungen zum Kontaminationsmanagement
- Formel 8-1
- Oberflächenabdeckung
- Formel 8-2
- Dosis der Kontamination
