1.3.1 Verunreinigungen

Vakuumbehälter müssen sauber sein, um beim Abpumpen schnellstmöglich den gewünschten Druck zu erreichen. Typische Verunreinigungen von Vakuumsystemen sind

• Rückstände von der Produktion der Vakuumsysteme Öle und Fette an Oberflächen, Schrauben und Dichtungen
• Anwendungsbedingte Verunreinigungen Reaktionsprodukte von Prozessen, Stäube und Partikel
• Umgebungsbedingte Verunreinigungen kondensierte Dämpfe, insbesondere Wasser, die sich an den Behälterwänden niederschlagen

Zur Vermeidung von Verunreinigungen ist bei der Montage von Vakuumanlagen auf bestmögliche Sauberkeit zu achten. Alle im Vakuumraum angebrachten Bauteile müssen sauber und fettfrei sein. Der Einbau von Dichtungen sollte trocken erfolgen. Ist der Einsatz von Vakuumfett nicht zu vermeiden, ist dieses allenfalls äußerst sparsam als Montagehilfe, nicht aber als Dichtmittel zu verwenden. Bei Arbeiten an Hoch- oder Ultrahochvakuumanlagen sind bei Montage- oder Wartungsarbeiten saubere fussel- und puderfreie Handschuhe zu tragen.