Sektorfeld-Massenspektrometer werden in der Vakuumtechnik wegen ihrer einfachen und robusten Bauart für Heliumlecktestgeräte verwendet. Hier ist der Massenbereich auf die Massen 2 u (Wasserstoffmolekül) bis 4 u (Heliumatom) beschränkt. Dies ermöglicht die Konstruktion kleiner, kompakter jedoch sehr leistungsfähiger Massenspektrometer.