1.3.6 Fluten

Zur Vermeidung von unerwünschten Verunreinigungen sollten Vakuumbehälter mit einem trockenen Inertgas wie Stickstoff statt mit restfeuchter Umgebungsluft geflutet werden. Dadurch wird die Anlagerung (Adsorption) von Wasserdampf und anderen kondensierbaren Anteilen der Umgebungsluft (z. B. Lösungsmitteldämpfen) an den Behälterwänden verhindert. Jedes Kondensat würde durch den im Vergleich zum Abpumpen langsamen Desorptionsprozess das nachfolgende Evakuieren verlängern. Ist ein Behälter mit Inertgas belüftet worden, sollte er nur zu notwendigen Arbeiten im Behälterinneren geöffnet werden. Bei langen Öffnungszeiten kommt es mittels Konvektion durch Bewegungen des Wartungspersonals oder durch Diffusion zum Eintrag von Wasserdampf aus der Umgebungsluft.