3.3.2 Lösbare Flanschverbindungen

Die Einzelkomponenten einer Vakuumanlage, z. B. Vakuumkammern, Pumpen, Ventile, Messgeräte usw., werden direkt oder durch Rohrbauteile bzw. elastische Elemente miteinander verbunden. Die lösbaren Schnittstellen zwischen den Bauteilen müssen vakuumdicht sein. Bei der Konstruktion einer Vakuumanlage sollten möglichst wenig lösbare Verbindungen vorgesehen werden, da sie im Vergleich zu nicht lösbaren Verbindungen eine deutlich häufigere Quelle für potenzielle Undichtigkeiten darstellen.

Als Verbindungsstücke kommen Flanschbauteile aus Edelstahl, Aluminium und Stahl zum Einsatz. Für flexible Verbindungen sind Metallschläuche aus Edelstahl den Schläuchen aus dickwandigem Gummi oder aus thermoplastischem Kunststoff vorzuziehen. Ab dem unteren Feinvakuumbereich sind sie unabdingbar.

Für lösbare Verbindungen werden vom Grobvakuum bis in den Hochvakuumbereich ISO-KF-Flanschverbindungen in den Nennweiten DN 10 bis DN 50 verwendet, für größere Nennweiten von DN 63 bis DN 1000 werden ISO-K- und ISO-F-Flanschverbindungen eingesetzt. Ultrahochvakuumtaugliche lösbare Verbindung, werden in den Nennweiten DN 16 bis DN 400 als CF-Flanschverbindungen ausgeführt respektive für größere Nennweiten von DN 400 bis DN 800 als COF-Flansche.