3.6.2 Eckventile

Eckventile zeichnen sich durch eine hohe Dichtigkeit aus, sie sind robust, industrietauglich und unempfindlich gegenüber Verschmutzungen. Am Gehäuse aus Aluminium oder Edelstahl sind der Ein- und Ausgangsflansch zueinander im 90°Winkel angeordnet. Abbildung 3.21 zeigt den Aufbau eines balggedichteten Eckventils. Eine Elastomerdichtung in Trapez- oder O-Ring-Form befindet sich im Ventilteller. Zum Verschließen wird der Ventilteller gegen den Ventilsitz gedrückt. Da die mechanischen Betätigungsorgane außerhalb des Vakuumbereichs liegen, können sie problemlos geschmiert werden. Eckventile gibt es mit allen gängigen Flanschtypen und in den Ausführungen handbetätigt, pneumatisch, elektropneumatisch und elektromagnetisch betrieben.

Für UHV-Anwendungen gibt es hermetisch dichte Ventilgehäuse und Ventilsitzdichtungen aus FKM oder Kupfer (Ganzmetallausführung).

Abbildung 3.21: Balggedichtetes Eckventil