3.6.6 Gasdosier- und Gasregelventile

Gasdosierventile dienen zum Einlass definierter Gasströme in ein Vakuumsystem, um z. B. in einem System einen bestimmten Druck aufrechtzuerhalten bzw. einzustellen. Sie arbeiten häufig nach dem Prinzip eines Nadelventils. Durch Drehen einer Spindel wird ein Spalt freigegeben, dessen Öffnung und Länge einen Strömungsleitwert darstellt. Der Gasstrom ist von den Umdrehungen der Spindel abhängig und wird in einer Kennlinie dargestellt. Die Ventilstellung lässt sich an einer Skala ablesen und ist reproduzierbar einzustellen.

Gasregelventile sind motorisch ansteuerbare Dosierventile oder Proportionalventile, bei denen die Größe der Ventilöffnung stetig mit dem angelegten Spulenstrom bis zur maximalen Öffnung ansteigt. Über Kennlinien ist der dem Spulenstrom zugeordnete Volumenstrom dargestellt. Regelventile werden mit Steuergeräten betrieben oder direkt durch externe Steuerungen angesteuert. Sie werden in automatisierten Prozessen zur Druck- oder Durchflussregelung eingesetzt.

Für kleinste Volumenströme unter UHV-Bedingungen, z. B. für Massenspektrometeranwendungen, gibt es ausheizbare Ganzmetall-Gasdosier- und Gasregelventile, die mit einer Platte aus Keramik gegen einen Sitz aus Metall abdichten.

Abbildung 3.24: UHV-Ganzmetall-Gasdosierventil