4.8.2 Anwendungshinweise

Eine Seitenkanalvakuumpumpe eignet sich besonders gut zur Erzeugung eines sauberen Hochvakuums. Die Pumpe arbeitet völlig trocken, da sie nur auf der Atmosphärenseite ein mit Öl geschmiertes Lager aufweist. Sie ist ideal geeignet zum schnellen Auspumpen von Schleusen oder Transferkammern, da auf Vorpumpen und Bypassleitungen verzichtet werden kann. Die Pumpe ist entweder als Einzelpumpe oder als Vorpumpe für Turbopumpen einsetzbar. Wegen der engen Spalte können korrosive Gase, Kondensate und Partikel nicht gefördert werden.