3.5.2 Schaugläser

Schaugläser werden hauptsächlich dazu verwendet, das Innere einer Vakuumkammer auch während des Prozesses zu beobachten. Daher werden in der Regel Borosilikatgläser entsprechender Dicke verwendet und mit Elastomerdichtungen in einem Schauglasflansch verbaut (ISO-KF-, ISO-K- und ISO-F-Schaugläser). Für UHV-Anwendungen und für hohe Temperaturen werden die Gläser metallisiert und mit Schweißlippen zum Ausgleich der Wärmeausdehnung verlötet (Fused-Silica-Glas oder Saphirglas) oder verschmolzen (Kodialglas). Über die Schweißlippen werden sie hermetisch dicht mit dem Schauglasflansch verschweißt. Um Spannungen zu minimieren, sollten CF-Schaugläser nur mit geglühten Kupferdichtungen montiert werden. Zudem muss das Aufheizen und Abkühlen gleichmäßig und nicht zu schnell erfolgen.

Dienen Schaugläser auch dem Transfer von elektromagnetischen Wellen, müssen ihr Transmissionsbereich und ihre optische Qualität berücksichtigt werden. Glashalterungen mit FKM-Dichtungen für Ein-Zoll und Zwei- Zoll Schaugläser erlauben den Einbau optischer Gläser in Vakuumflansche. Schauglasblenden verhindern oder reduzieren die Verschmutzung von Schaugläsern etwa bei Beschichtungsprozessen.

Abbildung 3.19: CF-Schauglas mit Glas-Metall-Verschmelzung