图索引
1 真空技术介绍
- 图 1.1
- 真空概览
- 图 1.2
- 总压力的定义
- 图 1.3
- 分压的定义
- 图 1.4
- 两次碰撞之间的平均自由程
- 图 1.5
- 氮在温度为 273.15 K 时的分子数密度（红色，右边 y 轴）和平均自由程（蓝色，左边 y 轴）
- 图 1.6
- 各种类型流态的剖面
- 图 1.7
- 根据 p · d 乘积的真空流动范围
- 图 1.8
- 根据管中平均压力，光滑圆形管的电导
- 图 1.9
- 各种物质的蒸气压曲线
- 图 1.10
- 通过涡轮分子泵排空容器的典型残余气体谱
2 基础计算
- 图 2.1
- 罗茨泵无负载的空气压缩比
- 图 2.2
- 具有 Hepta 100 和 Okta 500 泵组的体积流量（抽速）
- 图 2.3
- 干燥系统（示意图）
- 图 2.4
- 用于蒸汽冷凝的罗茨泵组
- 图 2.5
- 用于蒸汽冷凝的罗茨泵组
- 图 2.6
- 用于变压器干燥的罗茨泵组
- 图 2.7
- 不同涡轮分子泵在高工艺压力下的气体吞吐量
- 图 2.8
- 具有压力和吞吐量调节功能的真空系统
3 真空设备中的机械部件
- 图 3.1
- 奥氏体不锈钢弹性模量的温度依赖性
- 图 3.2
- 0.2% 屈服点奥氏体不锈钢的温度依赖性
- 图 3.3
- De Long-图表
- 图 3.4
- 激光焊缝的横截面图像
- 图 3.5
- WIG 轨道焊缝的横截面图像
- 图 3.6
- 矩形槽、梯形槽和角位置上的 O 型圈密封件
- 图 3.7
- 具有定心环和夹紧环的 ISO-KF 连接
- 图 3.8
- 安装在座板上具有定心环和爪夹的 ISO-KF 法兰
- 图 3.9
- 具有定心环和双爪夹的 ISO-K 连接
- 图 3.10
- 安装在座板上具有定心环和爪夹的 ISO-K 法兰
- 图 3.11
- 安装在座板上具有 O 型圈螺母和爪夹、用于具有密封槽底板的
- 图 3.12
- 安装在座板上具有定心环、螺栓环和螺丝钉的 ISO-K 法兰
- 图 3.13
- 具有定心环和螺丝钉的 ISO-F 连接
- 图 3.14
- 安装在具有定心环和螺丝钉的 ISO-F 法兰上、具有螺栓环的 ISO-K 法兰
- 图 3.15
- 具有扁平铜垫片和螺丝钉的 CF 连接
- 图 3.16
- 具有铜线和螺丝钉的 COF 连接
- 图 3.17
- 具有冷却剖面和水冷法兰的 EUV 光源室
- 图 3.18
- 具有垫板冷却的空间模拟室
- 图 3.19
- 带玻璃-金属熔合的 CF 多重视窗
- 图 3.20
- 具有陶瓷绝缘铜线导体的电气馈穿件
- 图 3.21
- 波纹管密封角阀
- 图 3.22
- 具有电动气动驱动的直通阀
- 图 3.23
- UHV 闸阀
- 图 3.24
- UHV 全金属气体计量阀
- 图 3.25
- 波纹管密封的 UHV 旋转式馈通（香蒲原理）
- 图 3.26
- 磁耦合的 UHV 旋转式馈通
- 图 3.27
- 弹性体密封的旋转式馈通
- 图 3.28
- Z 轴精密操纵器
- 图 3.29
- 轴精密操纵器
4 真空获得设备
- 图 4.1
- 真空概览
- 图 4.2
- 旋片式真空泵的工作原理
- 图 4.3
- 普发真空旋片式泵
- 图 4.4
- 旋片泵配件
- 图 4.5
- 隔膜真空泵的工作原理
- 图 4.6
- 螺杆泵的工作原理
- 图 4.7
- HeptaDry 转子
- 图 4.8
- 具有连接和配件的 HeptaDry
- 图 4.9
- 风冷式多级罗茨泵的工作原理
- 图 4.10
- 六氟硅酸铵 (NH4)2SIF6 冷凝于在过低温度下操作的罗茨泵中
- 图 4.11
- 多级罗茨泵、流程泵的工作原理
- 图 4.12
- ACP 120
- 图 4.13
- 具有连接的 100 L 背面
- 图 4.14
- 203 H 横截面
- 图 4.15
- 1503 H 流程泵站
- 图 4.16
- 罗茨泵的工作原理
- 图 4.17
- 气冷罗茨泵的工作原理
- 图 4.18
- 罗茨泵无负载空气压缩比
- 图 4.19
- 使用 Okta 2000 和各种前级泵的泵站抽速
- 图 4.20
- 侧槽真空泵的工作原理
- 图 4.21
- 涡轮转子的自由度
- 图 4.22
- 涡轮分子泵的工作原理
- 图 4.23
- 具体涡轮分子泵的抽速
- 图 4.24
- 因相对分子质量产生的抽速
- 图 4.25
- 因入口压力产生的抽速
- 图 4.26
- Holweck 级的工作原理
- 图 4.27
- 纯涡轮分子泵和涡轮拖式泵的压缩比
- 图 4.28
- 典型的 UHV 残余气体光谱（涡轮分子泵）
- 图 4.29
- 标准 HiPace 涡轮分子泵
- 图 4.30
- ATH M 磁悬浮涡轮分子泵
- 图 4.31
- 涡轮分子泵配件的例子（适用于 HiPace 300）
5 真空测量设备
- 图 5.1
- 膜片式真空计的设计
- 图 5.2
- 电容式膜片真空计的设计
- 图 5.3
- 皮拉尼真空计的工作原理
- 图 5.4
- 皮拉尼真空计曲线
- 图 5.5
- 反磁控管的设计
- 图 5.6
- 反磁控管的工作原理
- 图 5.7
- Bayard-Alpert 真空计的设计
- 图 5.8
- 压力测量范围和测量原理
- 图 5.9
- 应用概念 DigiLine
- 图 5.10
- ActiveLine 应用概念
- 图 5.11
- 用于 ModulLine 传感器的 TPG 300 控制单元
6 质谱仪与残余气体分析
- 图 6.1
- 总压和分压测量
- 图 6.2
- 质谱仪的组成部分
- 图 6.3
- 180° 扇形体质谱仪的工作原理
- 图 6.4
- 扇形场质谱仪：(a) 离子源，(b) 探测器
- 图 6.5
- 四级杆质谱仪的工作原理
- 图 6.6
- 四级杆过滤器的稳定性图表
- 图 6.6b
- 轴向离子源的截面
- 图 6.7
- 因电子能量而发生的电离
- 图 6.8
- CO2的碎片离子分布
- 图 6.9
- 网格离子源
- 图 6.10
- EID 离子的辨别
- 图 6.11
- 交叉束离子源
- 图 6.12
- 气密轴向离子源
- 图 6.13
- SPM 离子源
- 图 6.14
- PrismaPlus 离子源
- 图 6.15
- 法拉第杯的工作原理
- 图 6.16
- 二次电子倍增器 (SEM)
- 图 6.17
- 连续二次电子倍增器 (C-SEM) 的工作原理
- 图 6.18
- 具有进气系统和交叉束离子源的 QMS
- 图 6.19
- 具有不同进气口的差动排气 QMS
- 图 6.20
- 电偏压离子源中的电势曲线
- 图 6.21
- 90° 离轴 SEM
7 泄漏检测
- 图 7.1
- 自行车内胎上的气泡泄漏测试
- 图 7.2
- 扇形体质谱仪的工作原理
- 图 7.3
- 一般泄漏探测器的流程图
- 图 7.4
- 石英视窗传感器的工作原理
- 图 7.5
- 系统上 MiniTest 石英视窗泄漏探测器的真空图
- 图 7.6
- 使用吸枪和真空方法的局部泄漏检测
- 图 7.7
- 使用真空方法的整体泄漏检测
- 图 7.8
- 使用吸枪方法的封闭对象整体泄漏检测
- 图 7.9
- 有空气泄漏的接收器的质谱
- 图 7.10
- 制冷剂软管的泄漏测试装置
- 图 7.11
- 氦气回收装置
8 污染管理解决方案
- 图 8.1
- 摩尔定律（由 Intel 和 AMD 微处理器中的晶体管数量记录）
- 图 8.2
- 使用盒子（左）和 FOUP（右）的晶圆传送
- 图 8.3
- 硅类金刚石的晶体结构
- 图 8.4
- 空气分子污染 AMC 的分类
- 图 8.5
- FOUP 中的 AMC 来源
- 图 8.6
- 空气中极性和非极性分子
- 图 8.7
- 表面上的气体固体相互作用
- 图 8.8
- 表面位置
- 图 8.9
- 蚀刻后的表面
- 图 8.10
- 晶圆模型边缘的晶体生长
- 图 8.11
- Pod 再生器流程周期
