8.3 空气分子污染(AMC)的性质
在大气压和环境温度下，约含有 1015 个原子/cm2 的固体表 面每秒每平方厘米接收 1023 [37] 的外来气体分子和原子。这 意味着，在纳秒内，该表面将会覆盖上一些气体分子层。 分 子粘着在表面的概率在很大程度上取决于其性质和该表面的 性质与形貌。 但是即使在 ppbv 范围(体积的十亿分之几，即 10-9) ）内的微量反应副产物，其以 1014 s-1 cm-2 的速率撞击 表面，如果粘着系数高的话， 也将会在几秒内覆盖表面。
空气分子可以是极性或非极性的。在非极性分子中，电荷对 称分布， 正电荷和负电荷的中心重合。这方面的例子有氮气 N2 或 CO2 这些分子通过弱范德华力保持在固体表面 上，具有范围通常在热能量 RT ≈ 2.5 kJ/mol 和约 20 · RT之间的结合能。极性分子，电荷不对称分布，造成永久性偶 极动量。在极性分子的例子中有水 H2O 和用于半导体蚀刻工 艺的无机酸，如 HF 和 HCl。极性分子的结合能量较高，例 如，对于 Si(100) 表面上的 H2O 大约为 138 kJ/ 这些分 子可能与表面发生化学反应，形成进一步反应的核心。
图 8.6: 空气中极性和非极性分子
图 8.7: 表面上的气体固体相互作用
图 8.8: 表面位置
