公式索引

1 真空技术介绍

公式 1-1
气压公式
公式 1-2
数值气压公式
公式 1-3
压力定义
公式 1-4
波义耳定律
公式 1-5
盖-吕萨克定律
公式 1-6
理想气体状态总方程
公式 1-7
理想气体状态方程 I
公式 1-8
理想气体状态方程 II
公式 1-9
最概然速度
公式 1-10
平均速度
公式 1-11
平均自由程
公式 1-12
平均自由程 II
公式 1-13
克努森数
公式 1-14
雷诺数
公式 1-15
pV 气流量
公式 1-16
真空泵的气流量
公式 1-17
体积流量或真空泵的抽速
公式 1-18
流导的定义
公式 1-19
欧姆定律
公式 1-20
并联电导
公式 1-21
串联电导率
公式 1-22
孔口阻塞
公式 1-23
孔口流量
公式 1-24
孔口流导率
公式 1-25
空气的孔口流导率
公式 1-26
层流中的管流导
公式 1-27
空气层流中的管流导
公式 1-28
分子管流
公式 1-29
长圆管的通过概率
公式 1-30
分子管流导率
公式 1-31
分子管流导率
公式 1-32
解吸率
公式 1-33
塑料的解吸率
公式 1-34
渗透
公式 1-35
泄漏率
公式 1-36
由于时间原因的极限压力

2 基础计算

公式 2-1
罗茨泵气体负荷
公式 2-2
罗茨泵的压缩比
公式 2-3
针对层流的罗茨泵压缩比
公式 2-4
针对分子流的罗茨泵压缩比
公式 2-5
溢流阀开启且在高前真空压力下的罗茨泵站抽速
公式 2-6
溢流阀关闭且前级真空压力接近压差时的罗茨泵站抽速
公式 2-7
高进气压力下的罗茨泵组抽速
公式 2-8
低进气压力下的罗茨泵组抽速
公式 2-9
抽空时间
公式 2-10
计算抽速
公式 2-11
抽空蒸汽的气体吞吐量
公式 2-12
冷凝面积的计算
公式 2-13
真空系统的底压
公式 2-14
扩散系数 (T)

4 真空获得设备

公式 4-1
压缩比
公式 4-2
泵组合的气体流量
公式 4-3
回流流导
公式 4-4
实际压缩比
公式 4-5
抽速递推公式
公式 4-6
水蒸汽耐受性
公式 4-7
水蒸气的能力
公式 4-8
涡轮分子泵的压缩比
公式 4-9
涡轮分子泵的抽速
公式 4-10
涡轮分子泵的有效抽速
公式 4-11
具体抽速
公式 4-12
Holweck 级的抽速
公式 4-13
Holweck 级压缩比
公式 4-14
极限压力

6 质谱仪与残余气体分析

公式 6-1
动能
公式 6-2
洛伦兹力
公式 6-3
力的平衡
公式 6-4
路径半径
公式 6-5
四级杆偏转电压
公式 6-6
稳定性参数 a
公式 6-7
稳定性参数 q
公式 6-8
稳定性条件 U
公式 6-9
稳定性条件 V
公式 6-10
高通条件
公式 6-11
RF 功率
公式 6-12
散射
公式 6-13
离子电流

8 污染管理解决方案

公式 8-1
表面覆盖
公式 8-2
污染剂量