3.6.6 气体计量阀和气体控制阀

气体计量阀用于精确控制气体进入真空的入口流量，例如，维持或设置一定的压力。它们通常按照针型阀原理工作。通过转动主轴，间隙被释放，且该开口和长度提供流导。气体流量取决于主轴旋转并以特性曲线表示。阀位置可从刻度上读取并可重复设置。

气体控制阀为电动可控计量或比例阀，其中阀开口尺度随施加的线圈电流的增加而不断增大，直到达到最大开口。与线圈电流有关的体积流量在特性曲线上显示。控制阀通过控制单元进行操作或直接通过外部控制器进行操作。它们用于压力或流量控制的自动化过程。

对于 UHV 条件下的低流量，例如，用于质谱仪应用，有可烘烤的全金属气体计量和气体控制阀，它们用陶瓷板密封在金属座上。