3.7 操纵器和机械馈穿件

研究和工业生产中很多真空过程需要在排空区域移动样品或 部件。是包括三维空间坐标方向的直线位置变化和绕轴旋 转，可以是单个运动或多个运动类型相互之间的组合。

执行器和机械贯通件允许真空中的平移和旋转，其驱动器位 于大气侧且运动以真空密封的方式传输。根据相应的真空和 应用条件，使用几种不同的操作和传输原理。金属膜和弹簧 波纹管、特殊的弹性体密封件、磁耦合系统或差动泵密封件 可用作密封元件。

具有两个中空式法兰连接和一个中空通道的设计被称为操纵 器，在真空密封法兰中安有执行器的部件被称为机械贯通 件。后者的特点是结构紧凑。多个操纵器相互之间可以组合 和扩 展。此外，机械贯通件可与其连接，以便将各种类型的 运动 传输到真空中，从而提供各种运动任务的解决方案。而 且， 其它贯通零部件可连接至入口法兰，例如，用于电力或 流体，这 些可通过操纵器直接引导到应用中。

操纵器的法兰，特别是具有较大公称通径时，会承受相 当大 的大气压力。因此，在操纵器设计过程中，必须非常强调其 固有刚性，以保证法兰在抽空时是稳定的。根据外部负载和 内在部件的其它负载进行专门的设计，可带来高精度运动传 输。内置部件必须能够经受烘烤，以确保在 UHV 范围的使 用。