3.5 部件和馈穿件

真空系统具有很多单个部件，必须这些部件进行组装以形成 一个完整的单元。使用可拆卸的真空密封法兰连接，部件可 直接连接或通过真空部件，如管件或软管连接。有很多可用 的标准部件，其主要由不锈钢制成，但也有铝制成的。真空 交叉连接点可由管件制成，如弯头、三通或十字接头件，适 配元件提供由真空法兰到管线或 VCR 连接的过渡，变径管或 转接件使改变公称通径或法兰系统成为可能。

如果安装空间有限，应安装尽可能少的法兰连接；如果使用 标准部件无法实现所需的过渡和连接，则使用定制部件。从 最简单的长双头螺纹短节，直至高度复杂极其特殊的解决方 案。