1.3.5 残余气体组成

在超高真空中工作时，重要的是，在开始真空工艺之前或为了监控工艺过程，需要了解残余气体的组成。如果水的百分比 (m/e = 18) 及碎片 OH (m/e = 17) 含量很大，那么多是在真空室不清洁或烘烤不彻底的原因。如果氮 (m/e = 28) 和氧 (m/e = 32) 的-峰值之比 N2/O2大约为4:1，那么可以判定存在氮泄漏。

可在充分烘烤的腔室中，可以发现氢 (m/e = 2), 水 (m/e = 17 and 18), 一氧化碳 (m/e= 28) 和二氧化碳 (m/e = 44)。在使用涡轮分子泵时，不会发现碳氢化合物。因为分子泵对大分子量气体具有大压缩比, 它们有效地抽除在腔室之外。通过涡轮分子泵抽空的清洁容器的典型残余气体谱所图 1.10 所示。