4.6.1 设计与工作原理

如先前章节中所描述的泵一样，本节中描述的罗茨真空泵属 于在技术上容积式干泵的范畴。在本节中，我们讨论适用于 腐蚀性工艺的泵以及源自这些用于预抽室和传输室的泵。

图 4.11: 多级罗茨泵的工作原理

在该泵中，两个同步反向旋转的转子 (1) 在单个壳体 (2) 中非 接触旋转(图 4.11)。该转子具有 8 字形结构，且相互之间 由窄间隙分离开来。有四到六对转子位于转子轴上。每个转 子腔通过带有排气口的定子盘与其他转子分离开来。输送的 气体从入口 (3) 被抽到出口。垂直泵送方向在流程泵中始终 很重要。因此，各级之间的空间可用作粒子的排出通道。这 避免泵堵塞的最佳方式。

由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高达 6,000 rpm 的高 转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态 平衡， 这意味着，尽管其转速很高，泵的运行却极为安静。

为了避免化学物质在泵和消声器中冷凝，可通过调节冷却水 流量或通过具有加热套的电加热进行加热。如果出口消声器 分开配置，这需要一个额外的加热套。将出口消声器直接集 成在泵体上不仅通过省掉一个额外的加热器来降低能耗成 本，而且还使安装更容易。