4.8.1 设计与工作原理

侧槽高真空泵的工作范围从大气压到高真空范围。该泵是侧 槽泵(压力范围 1,000 至 5 hPa，层流)与 Holweck 级 (压力范围 5 至 10^-5 hPa，过渡流和分子流)。

图 4.20: 侧槽真空泵的工作原理

侧槽真空泵的泵系统(图 4.20)包括一个转子盘 (1)，其具有 分布在外周和环状工作室上的叶片 (2)，以及侧槽 (3)。侧槽 通过档块 (4) 在某一点收窄至圆盘外形。通过旋转转子叶片 产生的涡旋流从入口流动到出口产生泵送作用。这导致入口 (5) 和出口 (6) 之间的压差。通过将多个泵级串联连接可获得 较低的极限压力。

当压力在 1 和 20 hPa 之间时，泵离开层流范围， 且 Holweck 级负责气体的抽出。

为适应侧槽泵级仍然相当高的压力，Holweck 通道在真空侧 很小且间隙很窄。在吸入侧使用较大的通道横截面，以提高 抽速