3.6.2 角阀

角阀的特点是高气密性、坚固耐脏，适合于工业应用。入口和出口法兰在铝或不锈钢壳体上正交相对。图 3.21 显示了波纹管密封角阀的设计。梯形或 O 型圈形状的弹性体密封件位于阀板上。阀板压合在阀座上，以关闭阀。由于机械驱动元件位于真空范围之外，可以毫无问题地对其进行润滑。角阀可与所有常见的法兰类型一起使用，可分为手动、气动、电控气动和电磁驱动设计。。

对于 UHV 应用，有 FKM 或铜（全金属设计）制成的严实密封阀体和阀座密封件。