3.7.3.1 Z 轴精密操纵器的设计特点

与传统的梯形和公制螺丝驱动器或滑动导轨相比，具有轴驱动器和导向的循环球（滚珠丝杠）系统的使用具有几个显著的优势。由于其摩擦小，循环球系统具有高效率，且其较大的公称通径特别有利。尽管外部负载高（如真空状态下的压力差），它们允许用适度的操作力轻松进行行程调整。先前描述的粘滑效应不存在了，因此，可提供非常精细的分辨率，且不会出现很大的启动转矩，启动转矩使得操作更困难且尤其对电机驱动器具有不利影响。这样也没有必要设置连接电机的减速齿轮了。另一个优势是非常低的磨损水平，在不产生油脂污染的洁净环中，通过高品质、长期高温润滑脂的初始润滑将几乎可以无限期地持续下去，并无需保养。

耐弯曲导向体对精确度有很大影响。选择不锈钢制成的稳定U 型结构具有更大的刚性、用料更少重量更轻。在 U 型内部，导轨被螺丝固定在背板上。与无法得到支撑、自由运行的轴导向相比，型轨具有低变形结构，甚至在重负载下，在全行程范围内，实现符合所有空间轴的精确调整。

波纹管单元通常是为充分利用行程 10,000 次而设计的。波纹管的互换性确保仍然可以使用高品质导向和驱动机构的操纵器。