预抽非腐蚀性气体

ACP 120 是水冷式多级罗茨泵的入门级机型。ACP 系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。然而，ACP 系列泵至少可用于处理少量的腐蚀性气体。在这种情况下，使用惰性气体，其中，采用惰性气体幕保护轴承，且工艺气体通过在泵级中引入惰性气体进行稀释。

ACP 120 即可作为独立泵工作也可与罗茨泵组合作为 ACG 600 泵组进行工作，该泵站是工业应用的理想解决方案，且受益于半导体行业腐蚀性气体版本设计。ACP/ACG 泵通过其无摩擦设计非常适合于清洗过程。它们实现了优异的长期稳定性和长的维护间隔。

图 4.12: ACP 120

半导体行业的锁泵在其命名中用“L”代表“预真空锁”。与上述的 ACP 120 相比，它们配备了壳体和调节器。不管电源电压和频率如何，变频器确保了整体性能参数的稳定性。

L 系列泵装有运行时间计数器、状态灯，并可在本地和远程控制模式中任一模式下进行操作。

入口和出口法兰装在泵的后部以及输入输出接口处，这使其可连接至半导体生产设备的控制单元。串行接口可任选用于启动该泵，例如，要连接至监控网络。水冷却和可选的节能选项连接也位于泵的后部(见图 4.13)。

集成在泵壳中的可选节能选项(节能，ES)将泵耗电量减少了 50%。因此，操作者的运行成本显著降低。除节能之外，A 100 L ES 可实现极限压力为 7 · 10^-4 hPa。噪音水平也降低了 3 dB(A)。

图 4.13: 具有连接的 100 L 背面

通过保持泵的表面不受约束，单元也可堆叠起来，因此最大限度地减少在半导体晶圆厂无尘室或地下室中所占的空间。得益于其最小占用空间、可堆叠性，即使在大气压下的高抽速、节能选项、低极限压力和高可靠性与长期稳定性组合， L 系列是所有预抽过程的理想解决方案。

低的最终压力和降低了的噪音水平使其对分析和研发应用极具吸引力。