4.6.6 产品概览
4.6.6.1 水冷却工艺泵
ACP 120 / ACP 120 G 的抽速和最终压力可通过将其与罗茨 泵组合而实现进一步增加。优化的机组可用于更大容器的抽 空。
为电源频率为 50 Hz 标准所提供的技术数据不超过 1 m3。A 203 H 和 A 1803 H 型泵的特殊版本适合于被抽容器体积 高达 50 m3。
| 适用于非腐蚀性应用的多级罗茨泵 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 有/无净化气体的极限压力 | 应用 |
| ACP 120 | 95 m³ · h-1 | 3 · 10-2 hPa | 体积达 1 m3 体积达 1 m3 的预抽室和传输室、非腐蚀性气体、惰性气 体、低温泵再生、抽出非腐蚀性气体涡轮分子泵的前级泵 |
| ACP 120 G | 95 m³ · h-1 | 9 · 10-2 with 35 slm purge gas | |
| A100 L | 100 m³ · h-1 | 6.6 · 10-3 hPa | |
| A100 L ES | 100 m³ · h-1 | 7 · 10-4 hPa | |
表 4.16: 非腐蚀性应用的水冷式多级罗茨泵的性能数据
| 适用于腐蚀性应用的多级罗茨泵 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 有/无净化气体的极限压力 | 应用 |
| A 103 P | 120 m³ · h-1 | 6.5 · 10-3 hPa 2.6 · 10-2 hPa with 20 slm purge gas | 干蚀刻(氧化物和聚酯) 灰化 剥离 RTP 注入 |
| A 603 P | 480 m³ · h-1 | 5 · 10-4 hPa 2 · 10-3 hPa with 20 slm purge gas | |
| A 1003 P | 900 m³ · h-1 | 3 · 10-4 hPa 1 · 10-3 hPa with 20 slm purge gas | |
表 4.17: 腐蚀性应用的 P 系列水冷式多级罗茨泵的性能数据
| 适用于腐蚀性应用的多级罗茨泵(苛刻工艺) | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 无/有净化气体的极限压力 | 应用 |
| A 203 H | 130 m³ · h-1 | 6 · 10-2 hPa 5 · 10-1 with 50 slm purge gas | 金属蚀刻 CVD (PECVD, SACVD, LPCVD) ALD 取向附生 干蚀刻 |
| A 803 H | 600 m³ · h-1 | 1 · 10-3 hPa 1 · 10-2 hPa with 50 slm purge gas | |
| A 1503 H | 1,100 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa 9 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas | |
| A 1803 H | 1,650 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa 9 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas | |
| AD 73 KH | 4,700 m³ · h-1 | 8 · 10-4 hPa 3 · 10-3 hPa with 50 slm purge gas | |
表 4.18: 腐蚀性应用的 H 系列水冷式多级罗茨泵的性能数据(苛刻工艺)
