4.3.1 设计与工作原理

隔膜真空泵是干式真空泵。曲轴驱动的连杆 (4) 移动在上盖 (2) 和壳体 (3) 之间张紧的隔膜 (1)。 上盖和隔膜之间的空间 形成吸入室 (5)。隔膜泵需要入口阀和出口阀 (6) 以实现目标 气体排量。 由弹性体材料制成的压力控制断流阀构成此阀。 由于吸入室通过各隔膜与驱动器严密密封开来，泵介质不会 受到油的污染，侵蚀性介质也不会腐蚀机械结构。出口阀和 吸入室之间的固定空间产生一个受限的压缩比， 这意味着， 单级泵就可实现约 70 hPa 的极限压力。串联连接的多级泵 实现 0.5 hPa 的极限压力成为可能。 更低的压力无法实现， 因为不再有足够的力用于打开入口阀。隔膜泵的原理特别适 合于大约 10 m³ · h^-1 的低抽速情况。