5.1 总压测量的基本原理

压力被定义为每单位面积的受力大小：$p = F/A$ (公式 1-3)，其中 F 表示受力大小，A 表示受力面积。压力的 SI 单位是 1 N / m² = 1 Pa。其他压力常用单位有: 1 mbar = 1 hPa = 100 Pa and 1 Torr = 133.322 Pa。如果通过施加在物体面积 上的力的大小来测量压力，则压力测量与气体种类无关。在 普发真空智能手机应用程序中心 (visit www.pfeiffer-vacuum. cn) 中可找到真空技术中所有常用压力单位的转换工具。

在受力基础上的压力测量，在压力低于 1 hPa 时达到其极 限， 因为此时所施加的力太小。因此，必须使用其他方法测 量。例如，可通过测量封闭空间中气体的导热系数，或者可 以电离气体分子并测量电极之间的离子电流。因此，根据气 体属性来确定压力大小的这些间接测量方法，因气体种类而 不同。

在真空技术中，没有任何一种单一的测量方法能够涵盖整个 压力范围。因此，有必要使用不同的传感器。压力传感器的 选择标准是基于各种条件的，如：

• 要检测的压力范围
• 气体组成：惰性或腐蚀性
• 所需精度和可重复性
• 环境条件，如放射性