5.2 应用说明

选择和安装真空计时，必须考虑其特性和真空测量的特性：

• 由于真空室中存在潜在的压力梯度，恰当选择安装位置。
• 表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力 高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短，且密封 件数量减少到最小。
• 电离真空计具有抽气效应，因此指示的压力低于真空室中 的实际压力。
• 冷阴极真空计具有固有的溅射效应，这在中真空范围内与 重型气体（如氩）一起抽空时尤为明显。这可导致不一致 和不准确的读数。
• 当烃类存在时，电离真空计受到有机分子分解产物的污 染。如同溅射效应一样，读数可以被干扰或不一致。
• 必须选择电离真空计的开关点，以避免因上述现象导致的 污染。
• 强磁场和电场会影响真空计的性能。尤其对于电离真空计 而言。
• 为能够产生超高真空，必须对真空设备，包括真空计进行 烘烤。必须遵守技术要求中规定的最大烘烤温度和条件。

如果受到污染，冷阴极真空计需要拆卸和清洗。使用其它测 量原理的真空计，通常可以更换传感器。应该谨记，真空计 会受到一定程度的磨损和污染，因此每隔一段时间就需要更 换。由于操作条件范围广泛，因此不可能提供更换间隔的统 一建议。