5.3.1 DigiLine系列
DigiLine 范围中的主动式真空计通过串行 RS-485 或现场总 线接口提供其压力信号。它们配有 24 VDC。不同应用选项 如 图 5.9 所述。
使用 DPG 202 电源单元最多可操作两个真空计及显示其压力 值。DPG 202 具有连接 PC 的 USB 接口。DigiLine 真空计 的信号也可直接通过 PLC 或 PC 处理并通过 DokuStar Plus 软件显示。
DigiLine 真空计的可选版本提供 Profibus-DP 和 DeviceNet 现场总线标准接口。这使得这些真空计很容易集成到设备控 制系统的现场总线网络中,通过使用较少的布线和电缆以及 快速初始启动,使其具有所有已知的节约成本优势。
另一个选择是具有额外模拟输出和切换点的 DigiLine 真空 计。模拟输出可用于诸如设置变送器的本底压力显示之类的 任务,该变送器链接至中央控制系统。切换点允许提供硬连 线的安全功能。
图 5.9: 应用概念 DigiLine
主动式 DigiLine 真空计具有以下优势:
- 从 5 · 10-10 至 2,000 hPa 的压力范围涵盖整个真空范围
- 可自由组合部件
- 得益于数字信号的安全数据传输
- 压力值进行数值传输,所以无需任何曲线校正或转换
- Profibus-DP 和 DeviceNet 现场总线接口
- 数据可以直接在 PC 使用 DokuStar Plus 软件进行分析
- 便于调节的遥控
- 防护等级 IP54 和 DIN M12 连接器组件用于在恶劣环境中 可靠的运行
主动式 DigiLine 单传感器真空计可以压膜系统 CPT 200 (2,000 – 1 hPa) 和皮拉尼系统 PPT 200 (1,000-10-4 hPa) 的形式提供。
DigiLine 系列可提供以下具有组合传感器的真空计:
- 压电式皮拉尼组合 RPT 200。 由于用于压力 p >10 hPa 的皮拉尼真空计的导热系数影 响与压力无关,所以膜片真空计用于压力 p >10 hPa 的情况。这为整个测量范围从 1,200 至 1 · 10-4 hPa 提供了 良好的精度,使得该真空计能够精确控制过程,如腔室排 气。
- 皮拉尼冷阴极组合 MPT 200。 该组合涵盖压力范围从 1,000 至 5 · 10-9 hPa。冷阴极测量 传感器的气体放电由使用皮拉尼传感器测量的压力启动。 使用该方法防止冷阴极在过大压力下被意外激活,从而避 免污染。
- 皮拉尼/Bayard-Alpert 组合 HPT 200。 这涵盖压力范围从 1,000 至 5 · 10-10 hPa。由皮拉尼传感 器监控的压力防止热阴极真空计在过高温度下工作,并防 止热阴极烧坏。这能实现非常长的阴极使用寿命。