4.2.3.2 双级旋片式真空泵
双级旋片式真空泵适合于压力低至 10-3 hPa 的低、中真空范 围中的应用。采用气镇时排出冷凝蒸汽。
DuoLine
DuoLine 旋片式真空泵可根据泵的大小采用交流或直流电动机 供电。除标准模式外，也提供以下设计：磁耦合泵（Duo M 系 列）和腐蚀性气体泵，都具有和不具有磁耦合（Duo MC 系 列）。
PentaLine
PentaLine 系列泵最显著的特点是其创新的驱动理念。这些 泵通过电子控制式无刷直流电动机供电，该电动机的转子直 接位于泵系统的转子轴之上。通过电子逆变器为这些泵提供 交流电。使用选择开关，可选择两个电压范围 100-120 伏 和 200 – 240 伏。它们的优势包括高效率，比传统旋片式真空泵 的能源消耗低 25% 至 50%，且泵无同轴端的密封间隙。如 果暂时不需要泵体发挥其最大性能，泵的 RPM 可减少到待 机模式，还会节省能源 50%。基于新的驱动理念，可避免在 泵体较冷时启动机器产生的高启动电流，即使使用了异步电 动机也无法避免。除上述气镇方法外，PentaLine 泵可使用 温度控制进行操作，以增加水蒸汽抽出能力使用 PLC 兼容接 口或远程连接，实现 “泵开启”、“待机开启”和“增强的水蒸汽抽 出开启” 功能模式。
DuoLine
DuoLine 旋片式真空泵可根据泵的大小采用交流或直流电动机 供电。 除标准模式外，也提供以下设计:磁耦合泵(Duo M 系 列)和耐腐蚀气体泵， 有磁耦合和非磁耦合泵(Duo MC 系 列)。
Duo M 系列
M 系列泵配备了磁耦合，具有严格的密封性。这种无磨损密封 概念对泵进行了严格的密封， 使它们既清洁又环保。磁耦合使 维护最小化，明显节省保养费用。
| PentaLine | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Penta 20 | 22 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | 涡轮分子泵机组、分析、工业应用、研发、涂层 |
| Penta 35 | 34 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
表 4.3: PentaLine 性能数据
| DuoLine | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Duo 1,6 | 1.25 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | 涡轮分子泵站，分析、研发、涂层 |
| Duo 3 | 2.5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 6 | 5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 11 | 9 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 35 | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 | 62 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 125 | 115 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 255 | 250 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
表 4.4: DuoLine 性能数据
| Duo M 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Duo 1,6 M | 1.25 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | 涡轮分子泵站、分析、研发、涂层、非爆炸性有毒气体 |
| Duo 3 M | 2.5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 6 M | 5 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 11 M | 9 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 35 M | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 M | 62 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| Duo 125 M | 115 m³ · h-1 | 2 . 10-3 hPa | |
| Duo 255 M | 250 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
表 4.5: Duo M 系列的性能数据
Duo MC 系列
MC 系列泵适用于腐蚀性气体的抽出。与标准泵相反，它们 具有特殊的气镇阀， 惰性气体可通过该阀进入泵体。此外， 该泵配备了特殊的旋片，该旋片尤其耐化学腐蚀。 MC 系列 中所有腐蚀性气体泵可用于使用耐化学腐蚀的 F4 或 F5(全 氟聚醚)工作液的操作。 Duo MC 系统泵尤其适合于抽出有 毒气体，因为密封严格的磁耦合可防止气体的泄漏。
Pascal
Pascal 系列中抽速在 5 至 21 m3 · h-1 的旋片式真空泵内设 有交流或直流电动机。入口和出口法兰可垂直或水平连接。 除标准范围外，也可提供具有强制润滑和两种不同防腐蚀性 气体的 I 系列泵。
SD 系列
旋片式真空泵 SD 系列专为抽非腐蚀性气体而设计。自润滑 (抽速达 21 m3 · h-1) 供排气处的排油量最少。在长期操作 过程中， 泵的低温能够将最终压力下的油蒸汽返流减少到最 低。
正如同抽速达 21 m³ · h-1 一样，该泵轴封可直接更换，而无 需拆卸泵体，因此现场保养非常容易。
I 系列
I 系列泵配备了强制润滑。与 SD 系列相比，这提高了水蒸汽 抽出能力。强制润滑使 I 系列可以实现非常低的噪音水平和 低振动。
C1 系列
由于 FPM 密封件和氧化铬涂层轴以及壳体、旋片、轴套和视 窗使用特殊材料， C1 系列中的强制润滑泵特别适合于腐蚀性 的气体抽出。本系列中两个最大的机型还集成了油过滤器和 油液套管冲洗装置。
C1 系列配有矿物油。
| Duo MC 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| Duo 20 MC | 20 m³ · h-1 | 5 · 10-3 hPa | 腐蚀性气体抽出、化学实验室、非爆炸性有毒气体抽出 |
| Duo 35 MC | 32 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| Duo 65 MC | 62 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
表 4.6: Duo MC 系列的性能数据
| Pascal SD 系列 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 | ||
| 2005 SD | 5 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | 工业应用、分析、研发、泄漏检测 | ||
| 2010 SD | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |||
| 2015 SD | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |||
| 2021 SD | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |||
| 2033 SD | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |||
| 2063 SD | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |||
表 4.7: Pascal SD 系列的性能数据
| Pascal I 系列 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 | ||
| 2005 I | 5 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | 分析、研发、干燥、蒸馏 | ||
| 2010 I | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |||
| 2015 I | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |||
| 2021 I | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |||
表 4.8: Pascal I 系列的性能数据
C2 系列
C2 系列泵也配备了强制润滑。这些泵的防腐蚀性气体措施、 泵具有轴承润滑、用于工作液脱气的中性气体冲洗以及特殊 旋片材料的使用使其优于 C1 系列。该系列中两个最大的泵 也配备了油压力传感器和油温传感器。有了这种防腐蚀性气 体设备，Pascal C2 泵特别适合于半导体制造中蚀刻和涂层 工艺中的使用。
C2 系列配有全氟化的工作液。
| Pascal C1 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| 2005 C1 | 5 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | 腐蚀性气体应用、化学实验室、预抽和传输室化学应用、杀菌 |
| 2010 C1 | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2015 C1 | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2021 C1 | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2033 C1 | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| 2063 C1 | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
表 4.9: Pascal C1 系列的性能数据
| Pascal C2 系列 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | 抽速 | 极限压力 | 应用 |
| 2010 C2 | 10 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | 涂层、半导体(CVD、等离子刻蚀、注入)、抽出纯净氧 |
| 2015 C2 | 15 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2021 C2 | 21 m³ · h-1 | 2 · 10-3 hPa | |
| 2033 C2 | 30 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
| 2063 C2 | 60 m³ · h-1 | 3 · 10-3 hPa | |
表 4.10: Pascal C2 系列的性能数据
| 油类型 | 描述 | 可实现的极限 压力 | 应用 | HenaLine, UnoLine Plus, DuoLine, PentaLine, OktaLine | Pascal |
|---|---|---|---|---|---|
| P3 | 标准应用的矿物油 极低蒸气压 | < 1 · 10-3 hPa | 空气、非腐蚀性气体、惰性气体 | ||
| A120 | 无添加剂的一般用途矿物油，用于 50 Hz 的多用途油 | < 3 · 10-3 hPa | 空气、非腐蚀性气体、惰性气体;高粘性 | ||
| D1 | 标准应用和特殊应用的二酯油 | < 5 · 10-2 hPa | 空气、非腐蚀性气体、惰性气体、氧、轻度 腐蚀性有机溶剂 | ||
| A155 | 有机酯基合成油 | < 3 · 10-3 hPa | 烃类蒸汽、NH3, R134a、致冷剂;抗氧 化、耐聚合(少量沉积物) | ||
| F4 | 特殊应用的全氟聚醚 | < 1 · 10-3 hPa | 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶 剂、HCl、BF3、HF | 用于 < 20 m³ h-1的泵 | |
| F5 | 用于 > 20 m³ h-1的泵 | ||||
| A113 | 全氟聚醚合成油 | < 5 · 10-3 hPa | 氧、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、耐腐蚀 性气体能力强、适合于等离子刻蚀 | ||
| A119 | 无添加剂的一般用途矿物油，用于 60 Hz 的多用途油 | < 3 · 10-3 hPa | 空气、非腐蚀性气体、惰性气体;低粘性， 因此在低温下具有良好的启动性能 | ||
| A121 | 具有抗氧化添加剂的双蒸矿物合 成油 | < 3 · 10-3 hPa | 在大气压下循环启动，适用于高温和高压， 耐酸性和有机蒸汽;不适合用于等离子刻蚀 | ||
| A102 | 具有抗乳化剂的矿物油 | < 3 · 10-2 hPa | 油水分离(抗乳化性)、水蒸气干燥和抽 出、冷冻干燥 | ||
| A111 | 有添加剂的碳氢化合物抗乳化矿 物油 | < 1 · 10-2 hPa | 气体循环和气体回流;氧化敏感(不适合于 大气压下的频繁循环) | ||
| A200 | 温度稳定的矿物合成油 | < 2 · 10-3 hPa | 耐腐蚀性气体和电离等离子体;少量返流 | ||
| A300 | 无添加剂的双蒸馏白色矿物油 | < 5 · 10-3 hPa | 高抗腐蚀性气体和电离等离子体;耐卤素和 路易斯酸;少量返流 |
表 4.11: 前级泵和罗茨泵用油类型
