1.3.4 烘烤

为获得超高真空范围 (<10^-8 hPa) 内的压力，必须满足以下条件：

• 真空泵的本底压力应该低于所需极限压力的 10 倍。
• 真空室和部件所使用的材料必须针对最小出气量进行优 化，并且具有适当等级的表面处理。
• 应该使用金属密封件(例如，CF 法兰连接或 ISO 法兰标 准的螺旋挠性密封件)。
• 清洁处理是获取超高真空的必要条件，即:所有部件必须 在安装前彻底清洗并必须佩带无油脂手套进行安装。
• 设备和高真空泵必须进行烘烤。
• 在启动加热器之前，必须进行真空检漏。为此，必须使用 氦检漏仪或四极杆质谱仪。

烘烤显著增加解吸率和扩散率，而且这会导致抽吸时间大大 缩短。 作为制造工艺的最后一个步骤，UHV 用途的腔室可在 温度高达 900 °C 时进行退火。后续烘烤温度可能达到 300 °C。 泵制造商有关高真空泵法兰最高烘烤温度的说明通 常将最高温度限制为 120 °C。如果在真空设备中使用热源 (例如，辐射加热)，则不得超过允许的辐射功率。

设备在安装完毕后投入运行。在达到 10^-5 hPa 的压力后，开 启加热器。在加热过程中，每间隔 10 小时就要开启真空计并 对其脱气。 如果使用的是经过适当表面处理的不锈钢腔体和 金属密封件，经过120°C 的烘烤温度和约 48 小时的加热过 程，就足以达到 10^-10 hPa 的压力范围。

烘烤应该持续进行，直至达到预期极限压力的 100 倍。然后 关闭泵和真空室的加热器。在冷却后，很可能会达到所预期 的极限压力。在压力低于 5 · 10^-10 hPa 且内表面积较大时， 将优先使用气体捕集泵(钛升华泵)， 这种泵能以大体积流 率抽出从金属中逸出的氢气。