1.3.1 污染

当对真空室进行抽空时，为尽快达到所需压力，真空室必须 清洁。真空系统典型的污染物包括

• 真空系统生产过程产生的残留物 表面、螺丝钉和密封件上的油脂和润滑剂
• 与应用相关的污染物 过程反应产物、灰尘和颗粒
• 环境相关的污染物 冷凝蒸汽，特别是吸附在容器壁上的水分。

因此，在组装真空设备时必需确保部件尽可能清洁干净。真 空室中安装的所有部件必须干净、无油脂。安装的所有密封 也必须无油。如果不能避免使用真空润滑脂，则必须非常小 心地使用真空润滑脂，总而言之，是作为润滑剂用以辅助安 装，而不是用作密封剂。如果涉及到高真空或超高真空系 统，在装配过程中必须佩带清洁、不掉毛、无粉尘手套。