7.3.2 使用检漏仪与使用四级杆质谱仪的测试结果比较

四级杆质谱仪主要用于分析混合气体的组成。它们需要高真 空范围内的测试压力。质谱仪几乎可以与任何示踪气体一起 使用，因为它们的使用并不依赖于经典的示踪气体氦气。残 余气体分析仪无需任何特殊的测试气体就可以检测真空系统 中的泄漏。它们分析空气中气体的质量。

图 7.9: 有空气泄漏时的接收器质谱

用于示踪气体氦气的检漏仪目前没有在四级杆质谱仪的基础 上设计的。 它们具有更大的工作可靠性和长期稳定性以及结 果和数据解读更容易量化， 这些特性导致:在扇形磁场质谱 仪基础上的上述所有质谱检漏仪主要用于此目的。

具有基于石英视窗传感器的检漏仪也用于不需要高灵敏度质 谱检漏仪的应用。具有石英视窗传感器的装置使在非常高的 测试压力和高水蒸气接触下工作成为可能。