7.4 产品概览

质谱仪和气体分析仪产品如第 6 章所述。

普发真空拥有最广泛的氦气检漏仪。如表 7.4 所示。

广泛的产品组合允许针对所选择的特定应用而专门设计的装 置。最重要的特点是：

• MiniTest: 定位真空系统中的泄漏检测，即使在绝对压力 高达 200 hPa 和高水蒸气接触下。重量仅为 5 kg，具有 广泛半径的无线遥控， 仅需一位操作员检测大型真空系统 中泄漏的理想解决方案。
• ASM 310: 使用全面集成泵系统，用于真空和吸枪测试的 最小和最轻检漏仪。由于质谱检漏仪而实现的优异检测灵 敏度。
• ASM 340: 整合我们所有生产基地综合经验的最新普发真 空检漏仪。 强大的泵系统和与 ASM、HLT 系列检漏仪向 下兼容性使其成为最全面的检漏仪。
• ASM 182 系列: 配备了强大的泵系统，这些是工业环境或 大容量真空系统中灵敏定量泄漏检测的理想选择。
• ASM 380: 专为半导体行业和涂层系统开发的。 超薄的设 计使其在生产机械之间狭窄的过道中可以移动和操作。 即 使与辅助泵一起使用，高氦气抽速仍能保证其无与伦比的 灵敏度， 无油和无颗粒前级泵使其适用于洁净室的使用。
• ASM 192 系列: 这些固定使用的控制台装置非常适用于大 容量部件中的灵敏泄漏检测。
• ASM 1002: 测试开放式和封闭式部件的工作站。ASM 1002 是检测小型密封部件的理想选择。其简单的操作使 其具有较高的用户友好性， 并允许在红绿 灯原理上的视觉 信号识别。
• ASI 30: 用于集成在探测器系统中的模块化检漏仪。得益 于其范围广泛的接口，它可以使用各种 信号进行控制，且可用作任何其他品牌现有检漏模块的替 代品。
• ASM 102 S: 便携式 19” 套管的纯吸枪检漏仪。 ASM 102 S 专为移动式吸枪检漏仪而设计， 广泛应用在如在航空和航天工业以及管道施工中。