4.4.2 应用
近年来，水冷螺杆泵和下节中描述的多级罗茨泵已经越来越 多地取代先前在高抽速段 (100 – 600 m³ · h-1) 中占主导地位 的油润滑旋片式真空泵。
螺杆泵的优势包括：
- 在气体抽气腔内没有润滑剂
- 被泵送介质无任何污染
- 无工作液处理问题
- 因内部压缩而产生的较高效率
- 在 1 和 1,000 hPa 之间几乎恒定的抽速。
- 良好的液体和灰尘耐受性
- 罗茨泵理想的前级泵
这使得 HeptaDry 螺杆泵非常适合于化学应用或产生灰尘的 工艺，如用于晶体生长或产生大量的冷凝物的工艺中。
在恒温冷却中，水流量将取决于以下参数:入口压力、气体 类型、转速和泵大小。由于水冷却，几乎没有热被耗散到大 气中。这减少了空气调节系统的热负荷并降低其能量消耗。
初级螺杆泵的应用概述：
- 干燥、冷冻干燥
- 电子束焊接
- 冶金
- 涂层
- 预抽
- 化学应用
图 4.8: 具有连接和配件的 HeptaDry
