4.7.2 应用

由于其低压缩比，罗茨泵必须始终作为泵组合进行操作，用 于产生真空。它们可实现的最终压力将是所选前级泵极限压 力产生的结果。由于存在通过吸附的气体返流，在范围低于 10^-4 hPa 下使用罗茨泵不再可行。具有不同前级泵罗茨泵机 组的抽速和极限压力表现如图 4.19 所示。该曲线清楚地表 明，这种泵组合的抽速上升了 8 倍，其极限压力相对于前级 泵下降了 15 倍。