4.7.3.2 带磁耦合的标准泵
M 系列可用于对密封有最严格要求且要求最长维修间隔的工 艺。 该系列的大部分与标准系列相同，但是，其特点是额外 的严格密封的磁耦合代替了径向轴密封环。这意味着采用它 在操作中基本无磨损。泵的整体泄漏率小于 1 · 10-6 Pa · m3 · s-1。 这排除了油泄漏的可能性，过程气体和环境之间也不存 在任何交换。 M 系列标准泵适合于Table 4.19 中显示的所有 应用。此外， 这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用 以及超洁净气体应用: 例如，用于半导体行业中的 CVD 和 PVD 工艺或排空预抽/ 传输室以及用于平板显示器的生产。 M 系统可提供的大小范围从 250 m3 · h-1 到 6,000 m3 · h-1.
