4.1.2 抽速和气流量

抽速 $S_0=\frac{dV}{dt}$

(公式 1-17) 是通过真空泵入口横截面的平均体积流量。在 抽气特征图中，Y 轴上显示的是体积流率或抽速， X 轴上显 示的是入口压力。由泵几何形状决定的，泵可达到的最大抽 速被称为额定抽速。 抽速的测定在基本标准 ISO 21360- 1:2012 中进行了说明。抽速以单位 m³ · s^-1 表示。单位 m³ · h^-1, l · s^-1 和 l · min^-1 也是常用单位。

气流量 $q_{pV}=S \cdot p=\frac{dV}{dt} \cdot p$

(公式 1-16) 作为入口压力函数，表示真空泵中的气体流 量。它以 Pa · m³ · s^-1 或 hPa · l · s^-1 = mbar · l · s^-1 表示。 如果抽气系统由气体容积泵组成，所有串联连接的泵都具有 相同的气流量。