4.5.2 应用

ACP 范围内的干式、风冷式多级罗茨泵基于设计和性能参 数， 通常可直接替代同抽速范围内的油润滑旋片式真空泵。

多级罗茨泵的优势包括：

• 在气体抽气腔区域没有润滑剂
• 无油或粒子污染
• 无工作液处理问题
• 具有长期稳定的恒定真空参数
• 因易损件的最小数量而实现的高可靠性
• 具有一相或三相变频器恒定工作参数
• 风冷、无安装费用和水冷操作成本
• 可针对高入口压力连续运行
• 长维修间隔产生低运营成本
• 采用变频器的遥控选择
• 因可调节 rpm、降低的噪音水平、能源利用和电源输入而 理想地适用于更多应用
• 最小泄漏率
• 涡轮分子泵和罗茨泵理想的前级泵
• 认证符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求

蒸汽

如果没有额外的措施，由于其相对较低的工作温度，使用无油 泵则有泵内发生冷凝的危险。与旋片式真空泵类似，多级罗茨 泵装有气镇阀，以增加泵的水蒸汽耐受性和抽出水蒸气的能 力。泵内形成冷凝物增加了极限压力，导致腐蚀，且最坏情况 下，将导致泵故障。

在无气镇的情况下，ACP 泵可输送水分含量高达 5% 的介 质。 使用标准的泵气镇，水蒸汽耐受性为 10 hPa 且抽水蒸气 的能力为 100 g · h^-1。在特殊泵版本(CV，可冷凝蒸汽)增 加气镇量， 可实现水蒸汽耐受性约为100 hPa，水蒸气的抽出 能力为 700 至 1,000 g · h^-1，这取决于环境温度。

至于旋片式真空泵:在排空蒸汽前，泵体必须用气镇预热至少 半个小时。较高温度的泵体减少冷凝。减少冷凝的其他方法包 括获得尽可能低的出口压力及单独排出冷凝物。必须使用垂直 排气管道防止出口处的背压。如有有萃取系统，应将出口与其 连接。

灰尘和粒子

如果没有对大粒子物质的进入进行控制，在最坏情况 下，ACP 系列多级罗茨泵可堵塞并彻底损坏。为此，在含尘 工艺或如玻璃制造中， 在进气侧安装过滤器以防止造成破坏

腐蚀性气体

ACP 系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。在这方面多级 罗茨泵可用于半导体、太阳能和涂层行业中的腐蚀性气体工 艺(见第 4.6 节）。 然而，ACP 系列泵至少可用于处理少量 的腐蚀性气体。 在这种情况下，使用具有惰性气体净化的 泵，其中， 采用惰性气体保护轴承，且工艺气体通过在一个 泵腔中引入惰性气体进行稀释。

泄漏率

其高气密性能够保证多级罗茨泵 的长期使用以及昂贵气体的 循环使用 (⁴He, ³He, 同位素标记气体) 成为最佳解决方 案。

轻气体和高真空

多级罗茨泵通过出口阀以防止蒸气和氧气扩散回到吸入室， 这在抽出腐蚀性气体应用中会导致泵内发生化学反应。如果 需要产生真空以防止轻气体聚集和回流扩散，在应用中，必 须定期将该阀打开(如通过气镇)。

即便排气处的粗真空或气镇的使用就足以抽出连续的氦气体 流量，如在蒸发器低温恒温器中，几乎与氮或空气具有相同 的功能。

在载气禁止使用的应用中(如在闭合环路应用中)，泵出口 处必须有真空。