应用

侧槽真空泵特别适合于产生清洁高真空。其全干式工作，因为它仅在大气侧有一个油润滑轴承。它非常适合于快速排空预抽室或传输室，因为无需任何前级泵或旁路管道。该泵可用作独立泵，也可用作涡轮分子泵的前级泵。由于狭窄间隙，不能泵送腐蚀性气体、冷凝物和颗粒物质。