虚漏：形成、检测及避免

虚漏即貌似（非真正）的泄漏，它是从表面或大量材料或从部分局 限在系统内的体积中缓慢释放吸附或闭塞气体所致。上述定义的关 键组成部分是气体的缓慢释放。这明确地将虚漏的影响确定为气 源，而气源会减缓抽吸过程或显著延长到达所需底压的时间。

来自虚漏的气体流速由局限储气层与真空室自由体积之间的泄漏通 道尺寸所决定。如果泄漏通道非常小，局限气体因通道的流动阻力 高而释放地非常缓慢，则真空室的抽空时间会显著延长。如果真空 系统反复通风，则储气层可一次又一次自行充满空气。每次进行抽 气时，这种效应会重复发生。泵本身不会对脱气率造成影响。腔穴 的泄漏率 (mbar·l/s) 与泵抽取的气体平衡，即：抽速 (l/s) 乘以实际 压力 (mbar)。

这会出现气体局限在两个焊缝之间 的危险。如果真空侧的焊缝不紧密，局限气体则会扩散到真空室内 部。

这一过程将因局限气体体积和真空室内部容积之间的小孔而缓慢发 生。与此同时，如果外部焊接紧密，则无法使用氦气检漏仪找到泄 漏。因此，从大气侧易接近的焊缝不连续，而是中断的或后续点钻 的。 基于同样的原因，CF 法兰上带有泄漏检测槽。一般来说，串联的 密封件常常会出现虚漏的危险。内部密封是真空有关的密封，而外 部密封形成了腔穴并妨碍泄漏检测所使用的氦气抵达相关密封。

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