涡轮分子泵的压缩比 定义、计算和数据使用
压缩比通常是指泵的排气压力与进气压力之比值。尤其对于涡轮分 子泵来说,压缩比是指在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测 量的压力之比。
压缩比的定义
压缩比通常是在泵内侧没有任何气流量时确定的。这就是所谓的零 吞吐量,使用指数“0”对其进行识别。在有关涡轮分子泵的文献和技 术资料中,压缩比往往被称为 K0。实际上,涡轮分子泵压缩比的 测量是通过逐渐将气体引入前真空管道以增加前级压力同时测量随 后产生的高真空压力来实现的。
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