在高真空中减少抽空时间的措施

 

为了快速达到真空室中的最终真空，材料和表面纹理是非常重要 的。此外，对于实现理想最终压力的速度来说，待泵送的气体负荷 具有相关性。在达到理想基本压力之前，气体负荷主要由真空室以 及附着在真空室壁和夹具上的气体和蒸汽的泄漏率构成。它们在真 空下从表面逐渐解吸。这种解吸对抽空时间并进而对达到指定最终 压力所需的时长具有很大的影响。上述所有参数的相互作用反映在 所谓的抽空曲线中，其中压力损失表示为时间的函数。

为了提高真空室的抽空速度，可以采用不同的措施。使用气体和水 蒸汽分子粘附不太强的材料可减少抽空时间。表 1 给出了各种材料 表面上干燥空气解吸速率的概述。由于在泵送过程期间连续去除附 着的气体颗粒，气体输送速率随着抽空时间的增加而减小。一般来 说，如果真空室的条件良好并且泵设计合适，则可以在十小时的抽 空时间之后实现超高真空。从那时起，与气体从材料中的扩散相 比，气体从表面的解吸变得不太显著，因此不再与抽空时间相关。

与塑料相比，金属的出气率低得多。例外有铜合金等：它们同样具 有高出气率。密封件中使用具有较高解吸率的塑料和金属，如用作 高真空弹性体制成的 O 形环或用作金属密封件被用于超高真空区 域中。

可以用不同的化学成分来降低弹性体的出气率。例如，氟碳化合物 的解吸速率比丁腈橡胶化合物低一个量级。

表 1：各种材料表面上干燥空气解吸速率的概述