FOUP 内部分子污染物 (AMC) 状况分析
生产过程必须要在无污染的高要求环境下进行，即使极小的颗粒物 也会导致严重的工艺上的限制、性能上的损失，从而导致经济损 失。因此，控制和分析特定的生产环境非常重要，以便将污染物风 险保持在相对低水平。
AMC—洁净室工艺中的隐形杀手
存在于洁净室、工艺设备或腔体的空气中且可以污染其表面或产品 的气态化合物被称为分子污染物 (AMC)。AMC 可以造成严重伤 害，使先进制造设备遭受严重的产量损失、性能也会大幅下降。可 以采取多种遏制措施，但是问题是：“如何轻松而准确地分析前开 式晶圆传送盒 (FOUP) 内部的分子污染物 (AMC) 状况？”
用于分析 AMC 的 APA 系统
APA 302 是测试运输箱、所谓的 FOUP 以及周围环境中 AMC 的 独特内联监测系统。APA 302 提供特殊的氟化氢 (HF) 测量功能。 它从 FOUP 过滤器上取样后两分钟内就可以确定氟化氢的浓度。 由于基于光腔衰荡光谱技术 (CRDS) 的分析系统，该测量可在 ppb 范围内进行，具有高灵敏度。
