3.3.2.4 CF 플랜지

CF 플랜지는 명목 직경 DN 16~DN 250인 ISO 3669에 설명 되어 있고, 명목 직경 DN 10~DN 400인 ISO/TS 3669-2에 자 세히 설명되어 있습니다. 이런 표준들 외에도 진공 시장에서 사용 가능한 제조업체 또는 사용자에 의한 추가 변형들이 있 습니다. 명목 직경이 최대 DN 250일 경우엔 이런 표준들이 종종 결합됩니다. 명목 직경이 커질수록 덜 일반적이 되고 서 로 상당히 다릅니다. 호환성에 대해 의심이 들 경우 치수를 서로 비교해야 합니다.

CF 플랜지는 UHV 어플리케이션을 위해 설계되었고, 최대 450°C로 구을 수 있고, 1 · 10^-12 hPa 미만의 압력에 적합합 니다. 재료에 대한 요구는 비교적 높습니다. CF 플랜지는 일 반적으로 탄소 함량이 낮은 스테인레스강으로 거의 전적으 로 만들어집니다. 재료 1.4307이면 많은 어플리케이션에 충 분합니다. 예를 들어 강도 또는 낮은 자기화성에 관한 더 큰 요구에 대해서는 프리미엄 스테인레스강 1.4429 ESR이 권 장됩니다. 알루미늄 챔버에서 사용하기 위하여 알루미늄 베 이스와 스테인레스강 표면 또는 경화된 표면 실 영역이 장착 된 루미늄 플랜지로 구성된 특별한 바이메탈 플랜지가 개발 되었습니다. 하지만 상대적으로 높은 가격, 위험한 가공성 또 는 제한된 가열 탈기체 처리 가능성 때문에 이런 플랜지는 실 제로 자주 사용되지 않습니다.

CF 연결은 두 개의 첨단 부분이 있는 대칭 플랜지, 얕은 홈의 중앙에 위치한 금속 평면 개스킷, 필요한 높은 접촉 압력을 제공하는 많은 나사로 구성됩니다(그림 3.15). 플랜지의 방사 상 우묵 들어간 부분은 플랜지를 헐겁게 하는 데에 사용되며, 밀봉 표면에 헬륨을 직접 분무할 수 없기 때문에 누출 감지에 유용합니다. 각각 구멍 위치에 정렬되어야 하는 고정 플랜지 외에도 주 축 주위의 어떤 방향에도 플랜지가 정렬될 수 있도 록 회전 칼라 플랜지가 있는 디자인이 있습니다.

그림 3.15: 구리 평면 개스킷과 나사로 CF 연결

무산소 구리 OFCH (무산소 고 전도성)는 일반적으로 은 도 금 디자인에서 200°C를 초과하는 온도에서 밀봉재로 사용됩 니다. 조립 시 플랜지의 첨단 부분은 에워싸인 밀봉 디스크 속으로 밀어 넣어집니다. 외부의 첨단 부위에서 밀어냄 현상 이 일어나고, 그와 동시에 내부 가장자리에서는 절삭 작업이 일어납니다. 저온 흐름은 외부의 수직 플랜지 벽에 의해 제한 됩니다. 그래서 매우 높은 압력이 경계 층에서 생성됩니다. 압력이 높아지면 미세 구조의 구리가 첨단 부위까지 조정되 어 표면의 작은 결함을 채워 금속 초고진공 밀폐 연결을 생성 합니다. 전에 사용한 구리 개스킷은 재사용할 수 없습니다. 최대 약 1 · 10^-8 hPa의 압력까지는 FKM으로 만든 실을 여러 번 사용할 수 있습니다.

조립 시 어떤 식으로든 장력을 피하기 위하여 처음에 나사를 균일하게 정반대로 조입니다. 그 다음에는 나사를 차례 차례 단계적으로 조금씩 구리가 초고진공 밀폐 방식으로 밀봉 표 면에 연결될 때까지 조입니다. 베이크 아웃 시 가열 및 냉각 이 매끄러워야 하고 너무 빨라서는 안 됩니다. 플랜지 연결 시 온도 차이는 유리 요소들과 같은 구성품에 손상을 주거나 누출을 일으킬 수 있는 장력을 유발할 수 있습니다.