4.8 측면 채널 고진공 펌프

4.8.1 설계 / 작동 원리

측면 채널 고진공 펌프는 대기압에서 고진공 범위까지 작동 하는 진공 펌프입니다. 이 펌프는 측면 채널 펌프(압력 범위 1,000~5 hPa, 층류 흐름)와 홀벡 단계(압력 범위 5~10^-5, 전이 및 분자 흐름)의 조합입니다.

그림 4.20: 측면 채널 진공 펌프의 작동 원리

측면 채널 진공 펌프(그림 4.20)의 펌핑 스테이션은 외부 주변에 정렬되어 있는 블레이드(2)가 있는 로터 디스크(1), 링 모양 작업 챔버, 측면 채널(3)로 구성됩니다. 측면 채널은 차단기(4) 옆의 한 지점에서 디스크 프로필로 좁아집니다. 펌 핑 효과는 유입구에서 출구까지 회전 로터의 블레이드에 의 해 만들어지는 나선 흐름을 통하여 일어납니다. 이것이 유입 구(5)와 출구(6) 사이의 차압을 만들어냅니다. 더 낮은 최종 압력은 다중 펌핑 스테이지를 직렬로 연결하면 도달할 수 있 습니다.

1~20 hPa의 압력에서 펌프는 층류 흐름 범위를 중단하고, 홀 벡 단계에서 기체의 변위가 일어납니다

여전히 높은 측면 채널 펌프 단계의 압력에 적응하기 위하여 홀벡 채널은 진공 측면에서 작아지고 틈새는 좁아집니다. 더 큰 채널 횡단면은 펌프 속도를 높이기 위하여 흡입 측면에서 사용됩니다.