3.6 밸브

진공 시스템의 밸브들도 진공 기술에 일반적이고 제품 제작 시 고려해야 하는 차단 요소들에 대한 일반적인 기술 요구조 건 이외에도 특별한 요구조건의 영향을 받을 수 있습니다.

진공 밸브 구성 및 선택 시 분자 흐름 범위의 구성품들의 최 소 변위 최종 압력과 높은 흐름 저항을 고려해야 합니다. 또 한 밸브 하우징과 밸브 시트에 대해 최소 누출률이 요구됩니 다. 밸브의 이동 부품에 대한 진공 측면 윤활제는 요구된 압 력 및 온도 범위에 적합해야 하고, 그렇지 않으면 가능한 경 우 고진공 또는 초고진공에서 전적으로 회피되어야 합니다. 최소 불감 부피와 높은 전도성은 특히 분자 흐름 범위에서 중 요합니다.

기계적 구동 요소들에 대한 피드스루는 압력 및 온도 범위 뿐 만 아니라 기밀에 대한 요구조건들을 충족시키는 방식으로 설계되어야 합니다. 품질에 따라 탄성 중합체 밀봉 피드스루( 예: 샤프트 실)가 1 · 10^-4 hPa보다 더 큰 압력 범위에서 더 낮 은 진공 요구조건에 사용될 수 있습니다. 반면에 멤브레인 벨 로우즈 또는 스프링 벨로우즈는 1 · 10^-4 hPa 미만의 압력 범 위에 사용됩니다. 또한 금속 벨로우즈로 밀봉된 밸브는 적절 히 제작된 경우 베이크 아웃될 수 있습니다. 탄성 중합체 밀 봉 하우징, 플레이트 또는 플랜지가 있는 밸브는 최대 1 · 10^-8 hPa 의 압력에 사용됩니다. 설치는 일반적으로 대기압이 밸브 판 위에 있고, 폐쇄된 위치에 있고, 따라서 폐쇄력을 증 가시키는 방식으로 실행됩니다.

모든 실이 금속으로 만들어진 순금속 밸브는 UHV 어플리케 이션과 더 높은 베이크 아웃 온도에 적합하지만 대개 실에 더 높은 폐쇄력을 요구합니다. 연질 금속(구리 또는 특수 합금) 이 밀봉재로 사용됩니다. 폐쇄력이 높으면 실 사용 수명도 짧 다고 예상해야 합니다.

진공 기술 분야의 다양한 어플리케이션에는 다양한 유형의 밸브가 있습니다. 이 밸브들은 디자인이나 기능에 따라 명명 됩니다.